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4001027270
適用:惰性氣體N2、Ar、He。獨(dú)家專用純化技術(shù)脫除原料氣中的O2、CO、H2、CO2、H2O、CH4、碳?xì)浠衔镏罰Pb級(jí)。
※HPC終端OM系列純化器適用于原料氣指標(biāo)波動(dòng)較大,雜質(zhì)兩級(jí)脫除,全面保證用戶的材料氣品質(zhì)與純化器的使用壽命。
產(chǎn)品特點(diǎn) :
◆ 抗原料氣波動(dòng)能力強(qiáng)。多級(jí)純化工序,
◆脫除雜質(zhì)深度高
◆不釋放碳?xì)浠衔? 相比國(guó)內(nèi)現(xiàn)有的純化工藝,HPC –OM型純化技術(shù)不釋放碳?xì)浠衔?,常溫工作,?jié)能環(huán)保。非消耗型純化材料,降低成本,純化深度高,使用壽命長(zhǎng)。
◆性價(jià)比高 HPC-M系列所用純化材料為鎳觸媒催化劑,非消耗材料,可再生循環(huán)使用,成本低。初始調(diào)試后直接使用。
應(yīng)用領(lǐng)域:
光刻
IC(大規(guī)模集成電路)
SOI(硅半導(dǎo)體加工)
LED(半導(dǎo)體照明)
PV(光伏太陽(yáng)能)
化合物半導(dǎo)體
零點(diǎn)氣純化
氣體凈化、
高純度焊接
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