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大流量特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)適用行業(yè)： Semiconductor、LED等工廠

全自動(dòng)BSGS

　　大流量特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)（Bulk Specialty Gas Supply System）,簡(jiǎn)稱BSGS，可實(shí)現(xiàn)電子特殊氣體的持續(xù)大流量不間斷安全供應(yīng)，主要適用于Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED等工廠特氣（如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl）的集中供氣。
　　ST9300 BSGS可適應(yīng)ISOs，tube trailers，Y-cylinders，drums, cylinder packs, 等各種氣源的供給方式，基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)）。ST9300 BSGS采用PLC控制，觸控屏為人機(jī)界面，通過(guò)設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥、溫控等裝置，實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局、調(diào)壓閥J-T效應(yīng)加熱器等，既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)特殊氣體連續(xù)大流量供給和高純度的要求，同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。
　　適合氣體：易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等
　　適用行業(yè)： Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED等工廠.

大流量特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)適用行業(yè)： Semiconductor、LED等工廠

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