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    包郵 關(guān)注:425

    GJTQ-A氣浮式工件臺(tái) 成都晶普科技有限公司

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體輔助設(shè)備-工作臺(tái)-光學(xué)平臺(tái)

    產(chǎn)品品牌

    晶普

    庫(kù)       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)-四川省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：晶普

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體輔助設(shè)備-工作臺(tái)-光學(xué)平臺(tái)

    產(chǎn)品名稱(chēng)：GJTQ-A氣浮式工件臺(tái)

    主要技術(shù)指標(biāo)：
      XY重復(fù)定位精度：±300nm（±3σ）
      運(yùn)動(dòng)偏擺< 1″
      速度500mm/s
      XY向行程：150mm×150mm，250mm×250mm（可定制）
      H型結(jié)構(gòu)，直線(xiàn)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)
      氣浮導(dǎo)軌進(jìn)行導(dǎo)向
      精密光柵進(jìn)行位置檢測(cè)及反饋

    主要特點(diǎn)：

        GJTQ系列氣浮式工件臺(tái)從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)到器件選型均采用了國(guó)際最先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念和最先進(jìn)的單元產(chǎn)品。在結(jié)構(gòu)上采用了自主研制的無(wú)摩擦，高剛度氣浮導(dǎo)軌，氣浮剛度可達(dá)1000N/um以上；在單元器件上，驅(qū)動(dòng)器件選用荷蘭Tecnotion直線(xiàn)電機(jī)，美國(guó)Parker直線(xiàn)電機(jī)，瑞士Maxon伺服電機(jī), 德國(guó)PI公司壓電陶瓷等國(guó)際知名驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品，其驅(qū)動(dòng)分辨力小到1nm以下，且穩(wěn)定可靠；測(cè)量器件選用奧地利RS公司高分辨力光柵，安捷倫雙頻激光干涉儀，其分辨力高達(dá)0.6nm。GJTQ系列氣浮式工件臺(tái)，從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)到器件選型，層層控制，保證了該系列工件臺(tái)能到達(dá)500mm/s甚至更高的運(yùn)動(dòng)性能和10nm的定位性能。

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