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    GJTQ-A氣浮式工件臺 成都晶普科技有限公司

    應用于半導體行業(yè):

    半導體輔助設(shè)備-工作臺-光學平臺

    產(chǎn)品品牌

    晶普

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-四川省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:晶普

    型號:

    所屬系列:半導體輔助設(shè)備-工作臺-光學平臺

    產(chǎn)品名稱:GJTQ-A氣浮式工件臺

    主要技術(shù)指標:

      XY重復定位精度:±300nm(±3σ)
      運動偏擺< 1″
      速度500mm/s
      XY向行程:150mm×150mm,250mm×250mm(可定制)
      H型結(jié)構(gòu),直線電機進行驅(qū)動
      氣浮導軌進行導向
      精密光柵進行位置檢測及反饋

    主要特點:

        GJTQ系列氣浮式工件臺從結(jié)構(gòu)設(shè)計到器件選型均采用了國際最先進的設(shè)計理念和最先進的單元產(chǎn)品。在結(jié)構(gòu)上采用了自主研制的無摩擦,高剛度氣浮導軌,氣浮剛度可達1000N/um以上;在單元器件上,驅(qū)動器件選用荷蘭Tecnotion直線電機,美國Parker直線電機,瑞士Maxon伺服電機, 德國PI公司壓電陶瓷等國際知名驅(qū)動產(chǎn)品,其驅(qū)動分辨力小到1nm以下,且穩(wěn)定可靠;測量器件選用奧地利RS公司高分辨力光柵,安捷倫雙頻激光干涉儀,其分辨力高達0.6nm。GJTQ系列氣浮式工件臺,從結(jié)構(gòu)設(shè)計到器件選型,層層控制,保證了該系列工件臺能到達500mm/s甚至更高的運動性能和10nm的定位性能。

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