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    GJTQ-A氣浮式工件臺 成都晶普科技有限公司

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體輔助設(shè)備-工作臺-光學平臺

    產(chǎn)品品牌

    晶普

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-四川省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：晶普

    型號：

    所屬系列：半導體輔助設(shè)備-工作臺-光學平臺

    產(chǎn)品名稱：GJTQ-A氣浮式工件臺

    主要技術(shù)指標：
      XY重復定位精度：±300nm（±3σ）
      運動偏擺< 1″
      速度500mm/s
      XY向行程：150mm×150mm，250mm×250mm（可定制）
      H型結(jié)構(gòu)，直線電機進行驅(qū)動
      氣浮導軌進行導向
      精密光柵進行位置檢測及反饋

    主要特點：

        GJTQ系列氣浮式工件臺從結(jié)構(gòu)設(shè)計到器件選型均采用了國際最先進的設(shè)計理念和最先進的單元產(chǎn)品。在結(jié)構(gòu)上采用了自主研制的無摩擦，高剛度氣浮導軌，氣浮剛度可達1000N/um以上；在單元器件上，驅(qū)動器件選用荷蘭Tecnotion直線電機，美國Parker直線電機，瑞士Maxon伺服電機, 德國PI公司壓電陶瓷等國際知名驅(qū)動產(chǎn)品，其驅(qū)動分辨力小到1nm以下，且穩(wěn)定可靠；測量器件選用奧地利RS公司高分辨力光柵，安捷倫雙頻激光干涉儀，其分辨力高達0.6nm。GJTQ系列氣浮式工件臺，從結(jié)構(gòu)設(shè)計到器件選型，層層控制，保證了該系列工件臺能到達500mm/s甚至更高的運動性能和10nm的定位性能。

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