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全自動單瓶GC

　　ST8310 全自動單瓶特殊氣體輸送柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應(yīng)而設(shè)計的供應(yīng)系統(tǒng)，基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設(shè)定報警信號被觸發(fā)時）。ST8310全自動氣柜通過采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，實現(xiàn)設(shè)備安全有效的運行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導體工藝生產(chǎn)過程中對特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。
　　適合氣體：易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
　　適用行業(yè)： Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED等工廠。

ST8310 全自動單瓶特殊氣體輸送柜

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