服務(wù)熱線
4001027270
● 用 途:
-----------------------------------------------------------------------------------------------
用于硅片的真空合金、背金工藝
用于二極管真空燒結(jié)、真空焊接;熱敏電阻等器件的真空燒結(jié)
● 特 點:
---------------------------------------------------------------------------------------------
無油分子泵機(jī)組
短時間達(dá)到高真空
關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件,具有高可靠性
具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護(hù)功能
具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置
可配備氫氣系統(tǒng)
升降溫快,生產(chǎn)效率高
● 技術(shù)指標(biāo):
---------------------------------------------------------------------------------------------
結(jié)構(gòu)型式 |
臥式、立式;1-4管 |
溫度范圍 |
200~1200℃ |
極限真空度 |
優(yōu)于10-4Pa |
工藝氣體 |
N2、H2 |
溫區(qū)長度及精度 |
± 2℃/300mm--800mm |
腔體材質(zhì) |
石英管、不銹鋼管 |
口徑 |
¢100mm--¢400mm |
載重量 |
10-40KG/管 |
購買之前,如有問題,請向我們咨詢