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真空爐

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● 用途：

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用于硅片的真空合金、背金工藝

用于二極管真空燒結(jié)、真空焊接；熱敏電阻等器件的真空燒結(jié)

● 特點：

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無油分子泵機組

短時間達到高真空

關(guān)鍵件全部采用進口件，具有高可靠性

具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能

具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置

可配備氫氣系統(tǒng)

升降溫快，生產(chǎn)效率高

● 技術(shù)指標：

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結(jié)構(gòu)型式	臥式、立式；1-4管
溫度范圍	200～1200℃
極限真空度	優(yōu)于10-4Pa
工藝氣體	N2、H2
溫區(qū)長度及精度	± 2℃/300mm--800mm
腔體材質(zhì)	石英管、不銹鋼管
口徑	￠100mm--￠400mm
載重量	10-40KG/管

真空爐用于硅片的真空合金、背金工藝

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