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    Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-表面輪廓儀

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
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    Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀

    簡單介紹

    Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀乃利用掃描白光干涉技術(shù)所發(fā)展之次奈米三維光學(xué)輪廓量測儀,透過精密的掃描系統(tǒng)以及創(chuàng)新算法進(jìn)行微奈米結(jié)構(gòu)物表面輪廓的量測與分析。并可依據(jù)需求搭配彩色或單色相機(jī)進(jìn)行2D量測,使系統(tǒng)亦具備工具顯微鏡量測功能,達(dá)到一機(jī)多用途的目的。

    三維光學(xué)輪廓儀的詳細(xì)介紹

    功能特性:

    • 階高量測分辨率可達(dá)0.1 nm
    • 使用白光干涉量測技術(shù),非破壞性、快速表面形貌量測與分析
    • 模塊化設(shè)計(jì)可依量測需求及預(yù)算考慮進(jìn)行各部件選配
    • 可搭配彩色或單色相機(jī)進(jìn)行2D量測,使系統(tǒng)亦具備工具顯微鏡量測功能
    • 搭載電動鼻輪,可同時(shí)掛載多種物鏡并程控切換使用
    • 可選擇LED光源或是鹵素光源
    • 量測范圍可涵蓋150 mm x150 mm
    • 整合低倍率物鏡(5X2.5X倍率),可進(jìn)行大面積3D量測
    • 提供多種表面參數(shù)量測功能,如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度
    • 具備暗點(diǎn)以及邊界錯誤問題修正算法
    • 友善的人機(jī)接口,簡單的圖形化控制系統(tǒng)及3D圖型顯示
    • 可交換式的文件格式,可儲存與讀取數(shù)種3D輪廓文件格式
    • 強(qiáng)大的STA Master表面輪廓分析軟件,提供超過150種線、面輪廓參數(shù)計(jì)算
    • 自動化快速自我校正,確認(rèn)系統(tǒng)量測能力
    • 提供中/英文程序界面切換
    • 提供腳本量測功能,具備自動量測能力

     

     

    技術(shù)規(guī)格:

    Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀新一代的系統(tǒng)模塊化設(shè)計(jì),具備高度彈性之組合配置,可針對不同之量測需求配置來符合不同之量測應(yīng)用:搭載電動鼻輪,最多可同時(shí)掛載5種物鏡,使用時(shí)直接切換,省去手動更換的麻煩。同時(shí)配備電動調(diào)整移動平臺,可對樣品作自動調(diào)平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大,適合各種自動量測之應(yīng)用,樣品皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞、快速的表面形貌量測與分析,最適合使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學(xué)術(shù)研究等單位。

    Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀之高度分辨率可達(dá)0.1 nm,而搭配使用Z垂直軸量測掃描行程更可達(dá)到100mm,且水平軸向亦可達(dá)次微米解析,除此Chroma 7503 可透過計(jì)算機(jī)控制移動平臺進(jìn)行水平掃瞄,使其水平軸向量測范圍可達(dá)到150 × 150mm,并可依據(jù)客戶需求修改平臺尺寸。Chroma 7503搭配快速的校正程序以及演算原理,系統(tǒng)校正結(jié)果可以追朔至NIST標(biāo)準(zhǔn),并結(jié)合數(shù)種創(chuàng)新且強(qiáng)固可靠的算法,因此本系列產(chǎn)品可同時(shí)擁有高精準(zhǔn)度以及大范圍量測的特質(zhì)。

    Chroma 7503系統(tǒng)配備自動化掃描平臺,藉由垂直軸自動化移動平臺的掃描功能搭配快速的自動對焦算法,可有效輔助用戶找到最佳的對焦位置,另外藉由傾斜調(diào)整平臺可快速地將待測物調(diào)平,在短短的幾秒鐘之內(nèi)無需繁復(fù)的操作,系統(tǒng)即可自動將待測物體調(diào)整至最佳對焦位置并予以調(diào)平進(jìn)行量測。

    目前商用白光干涉分析儀最常使用之質(zhì)心算法來計(jì)算表面高度,因光線繞射的效應(yīng)在某些位置產(chǎn)生錯誤高度計(jì)算,造成量測結(jié)果邊界輪廓出現(xiàn)錯誤的信息,本系列產(chǎn)品采用最新開發(fā)3D Profiler Master量測軟件,并搭配Chroma干涉訊號處理算法來分析白光干涉圖譜,可將邊界錯誤問題予以避免。此外,系統(tǒng)亦搭載Chroma的暗點(diǎn)處理功能,可有效過濾并修正無法產(chǎn)生干涉之問題數(shù)據(jù)點(diǎn),將這些暗點(diǎn)去除后可降低量測上的誤差。由于暗點(diǎn)處理的機(jī)制在資料擷取期間執(zhí)行,因此暗點(diǎn)濾除功能可有效率的執(zhí)行,由于暗點(diǎn)乃參考其附件周圍數(shù)據(jù)來進(jìn)行修正,因此可使得量測更加強(qiáng)固且可靠。

    STA (Surface Texture Analysis) Master軟件針對表面輪廓數(shù)據(jù)分析、修正以及圖標(biāo)提供完整的面形貌呈現(xiàn),更提供超過150種線或面的輪廓參數(shù)計(jì)算,其中包含粗度、起伏、平整度、頂點(diǎn)與谷點(diǎn)等參數(shù)資料,高通濾波、低通濾波、快速傅立葉變換以及尖點(diǎn)移除空間濾波等工具提供使用者進(jìn)行高//帶通訊號濾除,且軟件亦具備多項(xiàng)式擬合、區(qū)域成長、整面及多區(qū)域調(diào)平方法,可靈活運(yùn)用于數(shù)據(jù)處理與分析上。

    在眾多高科技產(chǎn)業(yè)中,諸如半導(dǎo)體、平面顯示器、光纖通訊、微機(jī)電(MEMS)、生物醫(yī)學(xué)與電子封裝等,由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定了產(chǎn)品的效能與功能,在其制程中皆需針對微結(jié)構(gòu)的表面輪廓質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)測。有鑒于此,Chroma 7503提供多種表面參數(shù)量測功能,如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度以滿足業(yè)界與研究單位之需求。

    Chroma 7503兼具2D3D量測,搭配快速倍率切換以及大面積接圖功能能應(yīng)付產(chǎn)業(yè)界的各種應(yīng)用需求。此外更加入彈性的模塊化設(shè)計(jì),可依客戶端實(shí)際的應(yīng)用需求進(jìn)行搭配,讓用戶可在價(jià)格與功能規(guī)格之間取得平衡,是您提升效率及節(jié)省成本的最佳選擇。

     

     

    選購附件:

    Model

    Description

    7503

    三維光學(xué)輪廓儀

    Imaging system

    影像系統(tǒng) 640x480 pixel (mono),640x480 pixel (color), 1000x1000 pixel (mono) *1, 1000x1000 pixel (color) *1

    Interference objective lens

    一般物鏡 2.5X *2, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X

    Conventional objective lens

    干涉物鏡 5X, 10X, 20X, 50X, 100X

    Tube lens

    筒鏡 0.45X, 0.5X, 1.0X

    Nose gear

    鼻輪 None, Manual rotary 5 holes, Electric rotary 5 holes

    Light Source

    光源 White light LED, Halogen, Mono LED

    Software

    軟件 STA Master

    7503 service

    Measurement Service


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