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    包郵 關(guān)注:1341

    石墨舟上下料機QT-3000全自動管式硅片PECVD石墨舟上下料機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體封裝設(shè)備

    庫       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    中國-廣東省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體封裝設(shè)備

     
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      00(歐姆) 串聯(lián)電阻 00(歐姆) 開路電壓 380(V)
    短路電流 00(A) 外形尺寸 5600x2150x2000mm 參考重量 1750(kg)
    產(chǎn)品認(rèn)證 CCC 用途 將石墨舟內(nèi)的硅片由機器人控制吸盤機構(gòu)吸取出,然后通過輸送線裝進塑料花籃內(nèi),以及把塑料花籃內(nèi)的硅片通過 生產(chǎn)效率 上料3600pcs/h 下料3600pcs/h
    碎片率 ≤0.05/100(原碎片除外)    
     
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    石墨舟上下料機QT-3000-GPSXL18全自動管式PECVD硅片上下料機,石墨舟上下料機國內(nèi)著名品牌首選啟天科技,

     工藝

    1.目的:將石墨舟內(nèi)的硅片由機器人控制吸盤機構(gòu)吸取出,然后通過輸送線裝進塑料花籃內(nèi),以及把塑料花籃內(nèi)的硅片通過輸送線輸出再由機器人控制吸盤機構(gòu)吸取硅片投放到石墨舟內(nèi)。以供下一道工序使用。

    2.適用尺寸:125/156mm單晶/多晶硅片

    3.操作方式:全自動

    4.  石墨舟上下料機設(shè)備結(jié)構(gòu)原理:

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    管式PEVCD上/下料機如上圖所示,已經(jīng)鍍膜的硅片由機器人吸取從石墨舟上取出,經(jīng)第一條和第二條輸送線導(dǎo)入花籃里;未鍍膜的硅片從花籃里經(jīng)第三條和第四條輸送線導(dǎo)出后,再由機器人吸取裝進石墨舟里,供下一道工序使用。其中每條硅片由上層和下層組成,用于滿籃和空籃的自動切換。

    裝取片定位裝置

     

     undefined

    未鍍膜硅片通過傳送帶輸送到硅片過渡承載盒里,過渡承載盒機構(gòu)檢測滿盒之后會啟動裝取片定位裝置精確定位精準(zhǔn)確保每一塊硅片的位置后,機械人再高速取片,以增加裝取片的準(zhǔn)確性。

    自動換籃機構(gòu)/滿籃裝載和空籃導(dǎo)出機構(gòu)

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    換籃機構(gòu)由機械手和換籃皮帶輸送線上下層組成,由機械手將籃具夾住進行導(dǎo)片,當(dāng)籃具導(dǎo)空時,機械手將籃具夾住上升到上層皮帶,對接好后流入空籃導(dǎo)出皮帶,然后機械手下降至下層,將滿籃的硅片引入到機械手上,開始準(zhǔn)備再次導(dǎo)片。

    A、設(shè)備環(huán)境要求

    1.電源:  AC三相380V  50~60Hz

    2.總功率: 8 Kw

    3.潔凈壓縮空氣:5~7Kg/cm2

    4. 潔凈壓縮空氣流量:300L/min

    5.輸入真空壓力:-80kpa

    6.輸入真空流量:400L/min

    B、主要技術(shù)參數(shù)

    1. 外形尺寸:(LxWxH)    5600x2150x2000mm

    2.生產(chǎn)效率:上料3600pcs/h   下料3600pcs/h

    3.碎片率:≤0.05/100(原碎片除外)

         外形尺寸圖:

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    啟天自動化設(shè)備股份有限公司資質(zhì):

    公司資質(zhì)
    石墨舟上下料機

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