熱門產(chǎn)品

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	00（歐姆）	串聯(lián)電阻	00（歐姆）	開路電壓	380（V）
短路電流	00（A）	外形尺寸	5600x2150x2000mm	參考重量	1750（kg）
產(chǎn)品認(rèn)證	CCC	用途	將石墨舟內(nèi)的硅片由機器人控制吸盤機構(gòu)吸取出，然后通過輸送線裝進塑料花籃內(nèi)，以及把塑料花籃內(nèi)的硅片通過	生產(chǎn)效率	上料3600pcs/h 下料3600pcs/h
碎片率	≤0.05/100（原碎片除外）

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石墨舟上下料機QT-3000-GPSXL18全自動管式PECVD硅片上下料機，石墨舟上下料機國內(nèi)著名品牌首選啟天科技，

工藝

1．目的：將石墨舟內(nèi)的硅片由機器人控制吸盤機構(gòu)吸取出，然后通過輸送線裝進塑料花籃內(nèi)，以及把塑料花籃內(nèi)的硅片通過輸送線輸出再由機器人控制吸盤機構(gòu)吸取硅片投放到石墨舟內(nèi)。以供下一道工序使用。

2．適用尺寸：125/156mm單晶/多晶硅片

3．操作方式：全自動

4. 石墨舟上下料機設(shè)備結(jié)構(gòu)原理：

管式PEVCD上/下料機如上圖所示，已經(jīng)鍍膜的硅片由機器人吸取從石墨舟上取出，經(jīng)第一條和第二條輸送線導(dǎo)入花籃里；未鍍膜的硅片從花籃里經(jīng)第三條和第四條輸送線導(dǎo)出后，再由機器人吸取裝進石墨舟里，供下一道工序使用。其中每條硅片由上層和下層組成，用于滿籃和空籃的自動切換。

裝取片定位裝置

未鍍膜硅片通過傳送帶輸送到硅片過渡承載盒里，過渡承載盒機構(gòu)檢測滿盒之后會啟動裝取片定位裝置精確定位精準(zhǔn)確保每一塊硅片的位置后，機械人再高速取片，以增加裝取片的準(zhǔn)確性。

自動換籃機構(gòu)/滿籃裝載和空籃導(dǎo)出機構(gòu)

換籃機構(gòu)由機械手和換籃皮帶輸送線上下層組成，由機械手將籃具夾住進行導(dǎo)片，當(dāng)籃具導(dǎo)空時，機械手將籃具夾住上升到上層皮帶,對接好后流入空籃導(dǎo)出皮帶，然后機械手下降至下層，將滿籃的硅片引入到機械手上，開始準(zhǔn)備再次導(dǎo)片。

Ａ、設(shè)備環(huán)境要求

1.電源： AC三相380V 50~60Hz

2.總功率： 8 Kw

3.潔凈壓縮空氣：5~7Kg/cm2

4. 潔凈壓縮空氣流量：300L/min

5.輸入真空壓力：-80kpa

6.輸入真空流量：400L/min

Ｂ、主要技術(shù)參數(shù)

1. 外形尺寸：(LxWxH) 5600x2150x2000mm

2．生產(chǎn)效率：上料3600pcs/h 下料3600pcs/h

3．碎片率：≤0.05/100（原碎片除外）

外形尺寸圖：

啟天自動化設(shè)備股份有限公司資質(zhì)：

石墨舟上下料機QT-3000全自動管式硅片PECVD石墨舟上下料機

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

庫存：

產(chǎn) 地：

數(shù) 量：

價格：

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裝箱清單

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石墨舟上下料機QT-3000全自動管式硅片PECVD石墨舟上下料機

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