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系統(tǒng)概述
交流阻斷(或反偏)耐久性試驗是在一定溫度下,對半導體器件施加阻斷(或反偏)電壓,按照規(guī)定的時間,從而對器件進行質(zhì)量檢驗和耐久性評估的一種主要試驗方法。
一般情況下,此項試驗是對器件在結(jié)溫(Tjm ℃)和規(guī)定的 交流阻斷電壓或反向偏置電壓的兩應(yīng)力組合下,進行規(guī)定時間的 試驗,并根據(jù)抽樣理論和失效判定依據(jù),確認是否通過, 同時獲取相關(guān)試驗數(shù)據(jù)。
該系統(tǒng)符合MIL-STD-750D METHOD-1038.3、GJB128、 JEDEC標準試驗要求??晒┌雽w器件配以適當?shù)臏囟瓤煽匮b置, 作交流阻斷(或反偏)耐久性/ 篩選試驗。能滿足IGBT進行高溫反 偏耐久性試驗、高溫漏電流測試(HTIR)和老煉篩選。
系統(tǒng)組成
漏電流保護回路
在每一試品試驗回路中都配置有0.1A的保險絲,當試品在試驗期內(nèi)發(fā) 生劣化或突然擊穿或轉(zhuǎn)折,保險絲將熔斷,設(shè)備面板上的相應(yīng)工位的 氖燈點亮示警,同時蜂鳴器報警提示。
試驗電壓保護回路
試驗電壓由衰減板衰減取樣后反饋到控制單元,通過峰保器輸出與電 壓設(shè)定值比較,當試驗電壓高于電壓保護設(shè)定值時,過壓報警器響, 同時保護繼電器動作切斷高壓輸出。
高壓回路
由電源開關(guān)、控制繼電器、自藕調(diào)壓器、高壓變壓器、波形變換電路 組成,產(chǎn)生規(guī)定的試驗電壓并通過組合高壓線排,接入試品工位。
電特性參數(shù)測試回路
試驗電壓由電壓取樣回路,經(jīng)采集、保持 電路送到設(shè)備的數(shù)字電壓表顯示;
試品漏電流對每一試品漏電流獨立采樣,通 過設(shè)備上的波段開關(guān)分別進行轉(zhuǎn) 換,傳送到數(shù)字電流表顯示。
技術(shù)指標
試驗電壓 |
VDRM.VRRM/VRRM 300V ~ 4000V 連續(xù)可調(diào), 50HZ工頻 |
試驗電流 |
IDRM.IRRM/IRRM 1.0 mA ~200.0mA |
試驗溫度 |
室溫~150℃;溫度均勻性125℃±3℃; 溫度波動度±0.5℃ |
試驗工位 |
10工位 |
試驗容量 |
80×16=1280位 |
加電方式
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器件試驗參數(shù)從器件庫中導入,ATTM自動加電試驗 方式,可單通道操作;老化電源可根據(jù)設(shè)定試驗電壓 和上電時間程控步進加載 |
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