一、 WG-823F全自動晶圓減薄機(jī):
主要用于集成電路、分離器件、LED芯片等的背面減薄,也適用于硅、鍺、石英、砷化鎵、陶瓷等硬脆材料的精密減薄。
采用In-feed磨削原理
采用2主軸3承片臺結(jié)構(gòu)
全自動上下料
兼容4"5"6"8"晶圓
最薄可減薄到100μm 以下
片內(nèi)厚度偏差TTV可達(dá)1.5μm以下(使用專用承片臺)
片間厚度偏差WTW可達(dá)±3μm以下
二、WG-1211S自動晶圓減薄機(jī):
設(shè)備主要用于硅、鍺、石英、砷化鎵、陶瓷、藍(lán)寶石、碳化硅等硬脆材料的精密減薄,也適用于集成電路、分離器件、LED芯片等的背面減薄
采用In-feed磨削原理
采用1主軸1承片臺結(jié)構(gòu)
可兼容4"5"6"8"12"晶圓
最薄可減薄到100μm以下
可在線修銳磨輪
片內(nèi)厚度偏差TTV可達(dá)1.5μm以下(使用專用承片臺)
片間厚度偏差WTW可達(dá)±3μm以下
可使用繃架的方式磨削殘破或不規(guī)則片