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    12吋晶圓全自動減薄磨削機

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備

    產品品牌

    鑫霖

    發(fā)貨期限：

    六個月天

    庫       存：

    1

    產       地：

    中國-廣東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：鑫霖

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備

    12吋晶圓減薄機配置

    1、永磁同步空氣電主軸；  4.5KW    6000 rpm

    含有；高精度編碼器、同步變頻控制器、空氣壓力開關、三級精密過濾器、冷卻水位保護開關

    2、電主軸參數(shù)

    額定轉速  3000 rpm 最高轉速 6000 rpm  額定頻率   200Hz 最高頻率 400Hz

     額定電壓：380V； 額定功率：4.5KW； 額定扭矩：14.3Nm ；最高扭矩：25Nm；

    3、粗磨主軸工作轉速  1500 rpm；     4、精磨主軸工作轉速  3000 rpm

    5、粗、精磨頭滾珠絲桿運動行程  170mm；6、粗、精磨頭滾珠絲桿精度  0.01/300mm；

    7、粗、精磨頭絲桿工作磨削行程  0.8-0.91mm； 8、主動控制測量儀閉環(huán)控制精度小于 0.001mm；

    9、粗、精磨空氣電主軸上下?lián)Q向運動加裝柔性阻尼氣缸抵銷絲桿換向沖擊；

    10、金剛石磨輪直徑310mm；       11、晶圓片磨至厚度0.09-0.1mm；

    12、工件表面平面度小于0.005；     13、磨輪調至平面度不大于0.03；

    14、滾珠絲桿運動直線度、側母線直線度不大于0.01/300mm；

    15、大盤真空吸盤平臺工作轉速300 rpm；  16、設備尺寸范圍  4340x1570X2275；

    17、設備重量約5000Kg；

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    提問:
     
    問

    你好，請問這款設備減薄可達到的厚度是多少um？破損率可以控制在百分之多少以內？

    qwer  2019-11-20

    應用于半導體行業(yè)的相關同類產品：

    服務熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

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