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    HMDS

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體封裝設(shè)備-點(diǎn)膠機(jī)

    庫(kù)       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體封裝設(shè)備-點(diǎn)膠機(jī)

    一、HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是至關(guān)重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),而涂膠工藝的好壞,直接影響到光刻的質(zhì)量。涂膠工藝中的一種叫Hexamethyldisilazane(HMDS)化學(xué)制劑,化學(xué)名稱叫六甲基二硅氮甲烷,即HMDS。把它涂到硅片表面后,通過(guò)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主題的起表面活性劑作用的化合物,它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起到耦合的作用。在顯影的過(guò)程中,增強(qiáng)了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進(jìn)入掩模與基底的側(cè)向刻蝕。但隨著光刻線條的越來(lái)越細(xì),膠的越來(lái)越薄,對(duì)粘附力提出了更高的要求,于是我們研制出了現(xiàn)在的HMDS專用烘箱。
    二、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn):
      2.1預(yù)處理性能更好,由于是在經(jīng)過(guò)數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會(huì)有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過(guò)100℃-200℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低,所以有著更好的處理效果。等
       2.2處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
       2.3效率高。液態(tài)涂布是單片操作,而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)4盒的晶片。
       2.4更加節(jié)省藥液。實(shí)踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多;   
       2.5更加環(huán)保和安全,HMDS是有毒化學(xué)藥品,人吸入后會(huì)出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個(gè)過(guò)程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會(huì)有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī),所以也不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。
    三. 整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸:      
      3.1 內(nèi)膽尺寸:450*450*450mm;300*300*300mm;                                           610*610*650mm(W*D*H)
      3.2真空度:150Pa;采用真空泵 
      3.3 加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為內(nèi)置加熱板
      3.4 溫度:RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫精確可靠。      
      3.5 控溫精度:±2%℃(200℃內(nèi));
      3.6 可放LED芯片2寸片100片左右;
      3.7開(kāi)箱溫度可以由user自行設(shè)定來(lái)降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-90分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫));
      3.8  整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造,無(wú)發(fā)塵材料,適用100 級(jí)光刻間凈化環(huán)境。鋼化、鋼化玻璃門觀察工作室內(nèi)物體,一目了然。箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。
     
     *技術(shù)細(xì)節(jié)變動(dòng)之處,恕不另行通知,具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。
     
    真萍科技作為專業(yè)的HMDS設(shè)備制造廠商,可根據(jù)客戶需求定制您需要的滿意產(chǎn)品,有需求的客戶詳情請(qǐng)咨詢400-608-2908或搜索真萍科技了解更多信息。

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