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    鈦鋯酸鉛PZT靶材磁控濺射靶材

    應用于半導體行業(yè):

    半導體器件

    產(chǎn)品品牌

    京邁研

    規(guī)格型號:

    根據(jù)客戶要求定制

    發(fā)貨期限:

    10天

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:京邁研

    型號:根據(jù)客戶要求定制

    所屬系列:半導體器件

     科研實驗專用鈦鋯酸鉛PZT靶材磁控濺射靶材電子束鍍膜蒸發(fā)料
    產(chǎn)品介紹
           PZT壓電陶瓷是將二氧化鉛、鋯酸鉛、鈦酸鉛在1200度高溫下燒結(jié)而成的多晶體。具有正壓電效應和負壓電效應,PZT以及摻雜的PZT系列鐵電陶瓷成為近些年研究的焦點。
    產(chǎn)品參數(shù)
    中文名 鈦鋯酸鉛   化學式 PbZr0.52Ti0.48O3
    簡稱 PZT
          陶瓷化合物靶材本身質(zhì)脆且導熱性差,連續(xù)長時間濺射易發(fā)生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!
     
           我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。
     
           注意:高純銦的熔點約為156℃,靶材工作溫度超過熔點會導致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!
     
           建議:陶瓷脆性靶材、燒結(jié)靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3W/cm2。
     

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