科研實驗專用鈦鋯酸鉛PZT靶材磁控濺射靶材電子束鍍膜蒸發(fā)料
產(chǎn)品介紹
PZT壓電陶瓷是將二氧化鉛、鋯酸鉛、鈦酸鉛在1200度高溫下燒結(jié)而成的多晶體。具有正壓電效應和負壓電效應,PZT以及摻雜的PZT系列鐵電陶瓷成為近些年研究的焦點。
產(chǎn)品參數(shù)
中文名 鈦鋯酸鉛 化學式 PbZr0.52Ti0.48O3
簡稱 PZT
陶瓷化合物靶材本身質(zhì)脆且導熱性差,連續(xù)長時間濺射易發(fā)生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!
我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。
注意:高純銦的熔點約為156℃,靶材工作溫度超過熔點會導致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!
建議:陶瓷脆性靶材、燒結(jié)靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3W/cm2。