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例：型號(hào)GE50A013502R6V010(代表的是氣體介質(zhì)是氮?dú)?，流量最大?00sccm，配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male，通訊接口是DeviceNet，密封材料是Viton橡膠密封）

GE50A質(zhì)量流量控制器采購(gòu)系列號(hào)GE50A

用于標(biāo)準(zhǔn)的氣體(SEMI Gas編號(hào)）

氮?dú)猓琋2	013
氨氣，NH3	029
六氟化硫，SF6	110

流量范圍，SCCM滿量程（相當(dāng)于氮?dú)猓?/b>

5 500

10 101

20 201

50 501

100 102

200 202

500 502

1000 103

2000 203

5000 503

10000 104

20000 204

30000 304

50000 504

裝配件（法蘭接口）

Swagelok 4VCR male R

1/4 Swagelok S

C-Seal,(92mm port to port) C

W-Seal,(92mm port to port) H

通訊接口

Profibus 4

RS485 5

DeviceNet 6

Analog 0 to 5 VDC（9針D型） A

Analog 0 to 5VDC （15針D型） B

Analog 4 to mA（15針D型） H

密封材料

標(biāo)配：Viton V

選配：Neoprene N

選配：Buna-N B

選配：Kalrez K

預(yù)留MKS的未來(lái)應(yīng)用

標(biāo)準(zhǔn) 0

固化軟件版本

除非另有說(shuō)明，MKS會(huì)安裝訂貨日期的最新固化版本軟件 10

滿量程流量為3位數(shù)字顯示，前兩位表示量程流量的有效數(shù)字，由小數(shù)點(diǎn)分開(kāi)；第三位表示10的指數(shù)

注：其他氣體可選，完全替代MKS 1179A質(zhì)量流量控制器

MKS氣體流量計(jì) GE50A質(zhì)量流量控制器

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

規(guī)格型號(hào)：

發(fā)貨期限：

庫(kù) 存：

產(chǎn) 地：

數(shù) 量：

價(jià) 格：

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5	500
10	101
20	201
50	501
100	102
200	202
500	502
1000	103
2000	203
5000	503
10000	104
20000	204
30000	304
50000	504

Swagelok 4VCR male	R
1/4 Swagelok	S
C-Seal,(92mm port to port)	C
W-Seal,(92mm port to port)	H

Profibus	4
RS485	5
DeviceNet	6
Analog 0 to 5 VDC（9針D型）	A
Analog 0 to 5VDC （15針D型）	B
Analog 4 to mA（15針D型）	H

標(biāo)配：Viton	V
選配：Neoprene	N
選配：Buna-N	B
選配：Kalrez	K

MKS氣體流量計(jì) GE50A質(zhì)量流量控制器

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

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