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微波等離子體(此處特指2450MHz頻率),相較于中頻、高頻、射頻等電磁頻段,其振蕩頻率更高,可使等離子體中的電子在更小的功率下可以獲得更多的能量,等離子體中的電子密度和活性反應(yīng)物質(zhì)密度更高。
低溫等離子體中電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度,在具有高能活性可以處理被加工材料表面的同時,在材料表面產(chǎn)生的熱效應(yīng)小,不會使材料被熱解或燒蝕,具有獨特的應(yīng)用價值。
沃特塞恩研發(fā)的微波常壓低溫等離子噴槍由沃特塞恩固態(tài)微波源作為能量激發(fā)源,穩(wěn)定度高、使用壽命長,可使用多種氣體,等離子溫度可調(diào)整,可適應(yīng)多種應(yīng)用
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