服務(wù)熱線
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1. 四管式高溫爐低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng). 1
? 系統(tǒng)設(shè)計適于 4”圭片量產(chǎn)150片/RUN..
? 手動供料系統(tǒng)
? Eurotherm 2408 溫控系統(tǒng) (新品)
? ITS Tymkon 計算器共容過程控制系統(tǒng)
? 美囯Thermco 4304 爐體翻新
? 美囯MRL 200 ~ 1200 C 加熱爐膛
? PCS 3 Levels 供氣管路系統(tǒng) , 包括含氧多晶圭LPCVD 2套 LTO一 套
? 5 道氣體減壓閥管路柜 , ( Air, N2,O2,SiH4,N2O ).
LEVEL 1 :EMPTY
LEVEL 2 : SIPOS 含氧多晶圭LPCVD
LEVEL 3 : SIPOS 含氧多晶圭LPCVD
LEVEL4 : LTO 二氧化圭LPCVD
? 水冷式 316SS 不銹鋼法蘭門.單門SIPOS,雙門LTO
? PCS 5 管路UNIT 質(zhì)量流量計.
? MKS651 蝶閥控制器.
? MKS 253B 蝶閥.
? MKS 628B Baratron 1 torr 壓力傳感器.
? PWR 壓力顯示器
? 機械真空幚浦.
? 魯氏幫浦
? AP120 真空干幚浦
? ITS Tymkon 程控器.
? ITS GPI 904 氣控箱
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