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晶圓鍵合機 Wafer Bonding系列介紹: |
晶圓鍵合機應用于晶圓臨時性鍵合/解鍵合(Wafer Bonding/Debonding)工藝
晶圓鍵合機 Wafer Bonding系列特點: |
4”-8”/8”-12” 晶圓適用,支持極薄化晶圓的鍵合。 |
可選真空熱壓/UV/激光等鍵合方式。 |
鍵合機智能測繪料籃內晶圓,兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。 |
鍵合機支撐晶圓、產品晶圓進行自動對準。 |
晶圓鍵合機可自動完成晶圓鍵合(Wafer Bonding)工藝。 |
可選配晶圓鍵合后的在線檢測功能。 |
工控機+Windows系統(tǒng)。 |
SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力。 |
品名 |
Wafer Bonding系列(晶圓鍵合機) |
鍵合晶圓尺寸 |
4”-8”/8”-12” |
支持體基板 |
玻璃 |
鍵合裝置:真空熱壓/UV/激光 |
定制 |
粘貼裝置 |
搭載 |
晶圓盒形式 |
兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料 |
其他 |
SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力 |
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