有諦工業(yè)科技(上海)有限公司提供符合EIT-SEMIF57標(biāo)準(zhǔn)的
FFKM全氟橡膠,F(xiàn)EP包覆和PEEK聚醚醚酮材料制成的各種半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)密封元件。
半導(dǎo)體設(shè)備,半導(dǎo)體材料以及晶圓制造(Wafer Fabr ication),晶圓測(cè)試(wafer Probe/Sorting),蝕刻,CMP,CVD、芯片封裝(Assemble),測(cè)試(Test)及后期的成品(Finish Goods)等相關(guān)設(shè)備工藝需要使用超高純,低污染,低滲透,耐腐蝕,耐化學(xué)介質(zhì),耐等離子特性及壓縮變形冷流功能優(yōu)異的密封元件。其中典型應(yīng)用包括閥門(mén)O型圈,門(mén)密封,腔密封以及橡膠金屬腔體硫化連接。
應(yīng)用場(chǎng)合
單晶爐,氧化爐,清洗機(jī),蝕刻機(jī)Etching,化學(xué)物理沉積CVD/PVD,拋光設(shè)備CMP。
半導(dǎo)體材料的高分子工程塑料零部件,提供CNC數(shù)控加工,熱壓成型,注塑擠出的設(shè)計(jì)生產(chǎn)服務(wù),最終呈現(xiàn)各類高分子塑料零部件,我們的業(yè)務(wù)專注于此。