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4001027270
Ø 每種化學(xué)液采用一備一用雙桶單泵配置,同時(shí)具備漏液報(bào)警,原液通低液位報(bào)警等功能
Ø DI水隔膜泵沖洗功能是指用DI水沖洗化學(xué)液管路,防止操作人員因管路內(nèi)殘留化學(xué)液而導(dǎo)致的危害隱患
Ø 所有化學(xué)液輸送管路PFA管外須有PVC外套管,防止漏液時(shí)化學(xué)液漏到CDS設(shè)備或機(jī)臺(tái)外部
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