網(wǎng)站首頁

|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 光刻設(shè)備 » UV光刻機 »BG-401A曝光機
    包郵 關(guān)注:1325

    BG-401A曝光機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-UV光刻機

    產(chǎn)品品牌

    第四十五研究所

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    中國-北京市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障

    品牌:第四十五研究所

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-UV光刻機

     BG-401A曝光機(光刻機)主要用于中小規(guī)模集成電路、聲表面波器件和其它各種半導(dǎo)體元器件制造工藝中的單面對準(zhǔn)及曝光。最大兼容4英寸晶圓。

    主要技術(shù)特點

    對準(zhǔn)工作臺:
    對準(zhǔn)精度高,漂移小。精密楔形誤差補償機構(gòu)實現(xiàn)三點找平,找平力小,延長掩模版使用壽命。                        

    曝光系統(tǒng):
    采用柱體蠅眼透鏡和高能力集光的橢球反射鏡等精密光學(xué)件,具有較高的光強、均勻性、光學(xué)分辨率。

    分離視場顯微鏡:
    在X、Y方面進(jìn)行大范圍掃描觀察,可進(jìn)行單視場或雙視場切換,提高對準(zhǔn)效率和套準(zhǔn)精度,同時兼容CCD成像顯示功能。

    電氣控制:
    采用可編程控制器(PLC)、LCD顯示屏,操作方便,汞燈電源易于觸發(fā),可靠性高。該設(shè)備的關(guān)鍵件采用進(jìn)口或?qū)I(yè)廠家制造,氣動元件采用SMC的產(chǎn)品,提高了設(shè)備的穩(wěn)定性、可靠性,同時提供個性化服務(wù)。





     詳細(xì)參數(shù):
     工作臺行程:
     X向:±5mm Y向:±5mm
     Z向:3mm θ向:±12°
     掩模尺寸:Max5″×5″
     基片尺寸:Maxφ4″
     基片與掩模微分離間隙:0-0.05mm
     
     曝光分辨率:1.0um(真空接觸)
     曝光系統(tǒng)及波長:采用250W超高壓
     汞燈,UV365
     曝光方式:真空接觸、硬接觸
     曝光時間:0-999.9s連續(xù)可調(diào)
     曝光面積:φ108mm
     曝光不均勻性:±3%
     
     分離視場顯微鏡
     總倍率:100×(50×可選)
     掃描范圍:50mm×50mm
     調(diào)焦范圍:8mm
     物鏡分離距離:28-90mm
     
     所需設(shè)施:
     輸入電壓: ~220V±22 V(50Hz)
     整機功率: 1KW
     室內(nèi)光線: 紅色、黃色
     壓縮空氣: 0.5~0.7MPa
     氮氣: 0.2~0.4MPa
     真空: -0.08~-0.1MPa
     
     體積及重量:
     外形尺寸: 830mm×690mm×12700mm
     重量:300kg

    咨詢

    購買之前,如有問題,請向我們咨詢

    提問:
     

    請問這臺產(chǎn)品的分辨率是多高?有意購買

    hxsaaaa  2024-09-18

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號