服務(wù)熱線
4001027270
主要技術(shù)特點
對準(zhǔn)工作臺:
對準(zhǔn)精度高,漂移小。精密楔形誤差補償機構(gòu)實現(xiàn)三點找平,找平力小,延長掩模版使用壽命。
曝光系統(tǒng):
采用柱體蠅眼透鏡和高能力集光的橢球反射鏡等精密光學(xué)件,具有較高的光強、均勻性、光學(xué)分辨率。
分離視場顯微鏡:
在X、Y方面進(jìn)行大范圍掃描觀察,可進(jìn)行單視場或雙視場切換,提高對準(zhǔn)效率和套準(zhǔn)精度,同時兼容CCD成像顯示功能。
電氣控制:
采用可編程控制器(PLC)、LCD顯示屏,操作方便,汞燈電源易于觸發(fā),可靠性高。該設(shè)備的關(guān)鍵件采用進(jìn)口或?qū)I(yè)廠家制造,氣動元件采用SMC的產(chǎn)品,提高了設(shè)備的穩(wěn)定性、可靠性,同時提供個性化服務(wù)。
詳細(xì)參數(shù):
工作臺行程:
X向:±5mm Y向:±5mm
Z向:3mm θ向:±12°
掩模尺寸:Max5″×5″
基片尺寸:Maxφ4″
基片與掩模微分離間隙:0-0.05mm
曝光分辨率:1.0um(真空接觸)
曝光系統(tǒng)及波長:采用250W超高壓
汞燈,UV365
曝光方式:真空接觸、硬接觸
曝光時間:0-999.9s連續(xù)可調(diào)
曝光面積:φ108mm
曝光不均勻性:±3%
分離視場顯微鏡
總倍率:100×(50×可選)
掃描范圍:50mm×50mm
調(diào)焦范圍:8mm
物鏡分離距離:28-90mm
所需設(shè)施:
輸入電壓: ~220V±22 V(50Hz)
整機功率: 1KW
室內(nèi)光線: 紅色、黃色
壓縮空氣: 0.5~0.7MPa
氮氣: 0.2~0.4MPa
真空: -0.08~-0.1MPa
體積及重量:
外形尺寸: 830mm×690mm×12700mm
重量:300kg
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