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Discovery®系列適合于研發(fā)及小批量生產(chǎn)。系統(tǒng)采用獨(dú)特的共焦濺射結(jié)構(gòu),能夠使用較小的磁控濺射靶槍在較大的面積的工件上得到較好的均勻性(例如:采用傳統(tǒng)的垂直濺射方式,為了在6英寸工件上得到±5%的均勻性,需要使用8英寸直徑靶槍?zhuān)捎霉步篂R射方式,則可以采用3英寸磁控濺射靶槍?zhuān)纯蛇_(dá)到同樣的均勻性指標(biāo))。因此在同樣的要求下,采用的靶槍及電源相對(duì)較小,所以能夠降低設(shè)備成本及運(yùn)行成本,同時(shí),丹頓真空也提供傳統(tǒng)的垂直濺射方式系統(tǒng)。
Discovery® 系列都可以安裝多個(gè)磁控濺射靶槍?zhuān)梢詫?shí)現(xiàn)多種濺射模式,包括直流/射頻/脈沖濺射,共濺射,射頻偏壓濺射;可以實(shí)現(xiàn)三級(jí)加熱,最高加熱溫度可以達(dá)到900 °C;可以配置進(jìn)樣室(單片或多片),最大可以處理的工件直徑可以達(dá)到 250mm ;系統(tǒng)真空室規(guī)格從18英寸(457mm)到 35英寸(890mm)可選;高真空采用分子泵或低溫泵獲得;可以采用PLC觸摸屏控制系統(tǒng)或計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)。
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工作電壓:380V, 635:最多四個(gè)耙槍?zhuān)?span style="font-family: 宋體; font-size: 10.5pt;">785:最多五個(gè)耙槍?zhuān)蛇x水冷系統(tǒng)。
2017-07-10