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    包郵 關(guān)注:770

    濺射臺SRH-420

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-磁控濺射機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    ULVAC

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    極限壓強(qiáng):成膜室 6.7*10-5Pa
    設(shè)備構(gòu)成:1個L/LU室+最多3個工藝室
    濺射方向:向下濺射
    基板尺寸:直徑100-200mm
    排氣系統(tǒng):LL室,刻蝕室,分子泵,成膜室,低溫泵
    控制系統(tǒng):PC觸摸式操作屏
    搬送系統(tǒng):多腔體方式
    選購件:基板加熱單元,基板冷卻單元,刻蝕單元,多陰極單元
    所需氣體:Ar、氮氣、干泵用氮氣,壓力0.5MPa

    詳情可咨詢:www.yjyco.cn

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    提問:
     

    請問設(shè)備使用的靶材是平面型的還是輥型的?靶材的利用率能達(dá)到67%嗎?

    dfft  2017-08-03

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

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