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    包郵 關(guān)注:203

    擴(kuò)散爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    自設(shè)計(jì)生產(chǎn)

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：自設(shè)計(jì)生產(chǎn)

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備


    擴(kuò)散爐主要技術(shù)指標(biāo) 
    1、工藝說明 
    1.1氧化干氧工藝濕氧工藝去離子水、氫氧合成-內(nèi)/外點(diǎn)火 
    1.2擴(kuò)散硼擴(kuò)、磷擴(kuò)液態(tài)源、固態(tài)源等 
    1.3合金、退火等工藝 
     
    2、系統(tǒng)組成主機(jī)加熱體、石英/SiC管、功率組件等)、自動(dòng)送片懸臂-SiC凈化工作
    臺、氣路氣源系統(tǒng)?dú)庠垂癃⒂?jì)算機(jī)控系統(tǒng)等組成 
     
    3、控制方式手動(dòng)送片/自動(dòng)送片 
     
    4、擴(kuò)散爐配置可選
    4.1儀表控制/計(jì)算機(jī)控制 
    4.2工藝管水平結(jié)構(gòu)1-4管 
    4.3工藝規(guī)格2~6英寸晶圓或125mm×125mm、156mm×156mm太陽能電池片工藝腔
    體為石英或碳化硅 
    4.4恒溫區(qū)長度1100mm/800mm/600mm/450mm
    4.5晶圓裝載懸臂式剛玉/碳化硅桿碳化硅槳 
    4.6工作臺有凈化/無凈化 
    4.7工藝氣路對應(yīng)的工藝氣路氣路閥門組件采用國際優(yōu)質(zhì)品牌產(chǎn)品如SWAGELOK、PARK、
    SANDVIK、CARDINAL等等MFC國際優(yōu)質(zhì)如MKS、UNIT、STEC等或國產(chǎn)優(yōu)質(zhì) 
     
    5、擴(kuò)散爐主要技術(shù)參數(shù) 
    5.1工作溫度2001300℃
    5.2加熱體控制點(diǎn)3/5點(diǎn)
    5.3爐體恒溫區(qū)450mm/600mm/800mm/1100mm 
    5.4恒溫區(qū)精度800℃/±0.5℃ 800℃/±1℃
    5.5單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性6001300℃/ ±0.5℃/24h
    5.6最大可控升溫速度25℃/min

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    提問:
     
    問

    你這是垂直式的還是水平的，占地面積多大？包培訓(xùn)和維護(hù)嗎？

    whhg  2017-07-10

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

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