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    PI膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體PI固化爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-高溫爐

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    21.00
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    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-高溫爐

     PI膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體PI固化爐簡介:

       PI膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體PI固化爐用于PI高溫固化烘烤。PI(聚酰亞胺)是一種高粘附性微電子用高純涂層材料,其最大特點(diǎn)是可以直接用于半導(dǎo)體器件表面,形成高粘附性的聚酰亞胺薄膜,實(shí)施工藝中可免除涂敷偶聯(lián)劑,簡化使用工藝,保證了器件的可靠性,提高了成品率。廣泛應(yīng)用于微電子工業(yè)中的半導(dǎo)體器件表面的保護(hù)、密封、應(yīng)力緩沖保護(hù)和半導(dǎo)體器件表面鈍化、內(nèi)涂料、層間絕緣和介電薄膜材料以及液晶顯示器的液晶分子取向膜材料,對(duì)改善器件性能、提高器件可靠性,具有防潮、防金屬離子遷移、防污染,降低漏電流,同時(shí)對(duì)器件的引線、焊點(diǎn)等薄弱部位具有增固加強(qiáng)的作用。所以,PI的固化工藝非常重要。
    PI膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體PI固化爐技術(shù)參數(shù):
    1. 最高溫度:450℃;可自定義
    2. 工作室尺寸:450×650×450mm(W×H×D);可自定義
    3. 箱體數(shù)量:一個(gè);  可自定義兩箱
    4. 腔體材料:SUS304鏡面不銹鋼;
    5. 加熱元件:不銹鋼加熱器;
    6. 熱電偶:K型熱電偶;
    7. 空箱升溫時(shí)間:可控制,斜率升溫;
    8. 空箱降溫時(shí)間:可控制,斜率降溫;
    9. 記錄儀:溫度和氧含量記錄儀;
    10. 氧含量-氧分析儀:
      高溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
      低溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量
    11. 溫度波動(dòng)度:±1℃;
    12. 溫度均勻度:±5%(300℃平臺(tái));
    PI膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體PI固化爐基本配置:
    1. 控制:單獨(dú)控制;
    2. 排風(fēng)口:一個(gè);
    3. 控溫儀表:日本理化FP23溫控儀;
    4. 控溫段數(shù):20×20段;
    5. 控溫點(diǎn)數(shù):一點(diǎn);
    6. 超溫報(bào)警點(diǎn)數(shù):一點(diǎn);
    7. 檢測點(diǎn)數(shù):六點(diǎn);
    8. 高溫開爐門保護(hù):當(dāng)溫度超過100℃,電子鎖自動(dòng)鎖緊,防止高溫開門
    9. 報(bào)警保護(hù):超溫、元件故障等聲光報(bào)警保護(hù);
    10. 超溫保護(hù):獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器;
    11. 電機(jī)保護(hù):電機(jī)過電流、過熱保護(hù);                      
    12. 表面溫升:<30℃;
    13. 加熱功率:12kW;   
    14. 保溫功率: ≤9kW;
    15. 電源:380VAC,50Hz;


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