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    無氧退火爐 真空氣氛燒結(jié)爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

    產(chǎn)品品牌

    鑫南光

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
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    品牌：鑫南光

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

    成都臥式真空爐又名無氧退火爐、真空氣氛燒結(jié)爐 是指元件材料在充入一定氣體的爐膛內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)的工藝。 不同的元件材料選擇適宜的氣氛燒結(jié)，有助于燒結(jié)過程，提高元件材料致密化程度、獲得良好性能的元件材料。真空氣氛爐常用的惰性氣體有真氫、氧、氮和（如氬）等多種氣體。例如透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結(jié)，透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結(jié)，氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮?dú)夥諢Y(jié)。 有時(shí)為保證燒結(jié)工藝也須在保護(hù)氣氛中操作。如鉬絲爐宜通氫，鎢絲爐宜在真空條件下工作。以上文章由成都?xì)錃鉅t,成都?xì)錃鉅t廠,成都真空氫氣爐編輯提供

    一、用途：

    本設(shè)備為真空或多氣氛保護(hù)兩用爐。供材料或器件在真空環(huán)境或保護(hù)氣氛環(huán)境下進(jìn)行燒結(jié)、釬焊、熱處理實(shí)驗(yàn)用，也可作為批量不大的生產(chǎn)用。

    二、主要技術(shù)參數(shù)：

    1、爐型： 單位臥式

    2、有效工作區(qū)： Φ200×200（mm）

    3、爐溫：最高溫度1500℃    工作溫度1300℃、溫度均勻性≤±5℃（空載，真空狀態(tài)）

    4、真空度：極限真空：9×10-4Pa、工作真空：5×10-3Pa

    5、抽氣時(shí)間：≤40min（大氣狀態(tài)至工作真空度）

    6、控溫方式：1點(diǎn)  程序自動(dòng)

    7、氣冷壓強(qiáng)：≤0.12MPa

    8、操作方式：手動(dòng)/自動(dòng).

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