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高溫?cái)U(kuò)散爐

擴(kuò)散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件及

大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等

工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸。

■擴(kuò)散爐控制系統(tǒng)特點(diǎn)

◆ 可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置多步

◆ 工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能

◆ 自動(dòng)運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能

◆ 工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能

◆ 可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能

◆ PID參數(shù)自整定功能

◆ 具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng)，良好的人機(jī)界面

◆ 系統(tǒng)故障自診功能

◆ 工藝氣體的程序控制功能

◆ 停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等

◆ 關(guān)鍵件全部具有高可靠性

◆ 具有歷史記錄功能

◆ 具有多種故障報(bào)警及各種安全互鎖保護(hù)功能

◆ 具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償

★ 可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開(kāi)發(fā)相應(yīng)的功能

■ 擴(kuò)散爐主要技術(shù)指標(biāo)

◆ 可配工藝管外徑： 2~8英寸

◆ 可配工藝管數(shù)量： 1~4管/臺(tái)

◆ 恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度： 300～1250mm 800~1300℃/±0.5℃

◆ 工作溫度范圍： 400～1300℃

◆ 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性： 800～1300℃ ±0.5℃/24h

◆ 最大可控升溫速度： 15℃/min

◆ 最大降溫速度： 5℃/min

★ 可為用戶量身定制非標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備

高溫?cái)U(kuò)散爐

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