A. 技術參數(shù)
1. 分辨率: 5nm (30kV, SE Image)
8nm(30kV, BSE Image)
2. 放大倍率:30x~100,000x (有效放大倍率60,000x)
3. 加速電壓 : 1kV to 30kV (1Kv/ 5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)
4. 對焦方式:自動/手動同時支持兩種模式
5. 圖像:
二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image
背散射電子圖像-(BSEI)- Backscattered Standard Mode
6. Observation mode : Standard Mode
7. 電子槍系統(tǒng):
燈絲類型:預對中鎢燈絲
偏壓系統(tǒng):自動偏壓方式
電子槍校正:手動方式
8. 透鏡構成
i. 聚光鏡 : 2段式磁線圈透鏡
ii. 物鏡 : 1段式磁線圈透鏡
9. 探測器類型:E-T Detector
10. 載物臺系統(tǒng):5軸操控
- X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°(自動控制)
- Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°
11. Image shift: X, Y Image Shift (100?)
12. 樣品最大尺寸 :80mm in diameter, 35mm in height
13. 圖像掃描速度
1. 快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
2. 低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)
3. 圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)
4. 圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
14. 自動功能
自動啟動,自動聚焦,自動亮度對比度調節(jié)
15. 圖像存儲方式
BMP, JPEG, PNG
16. 數(shù)據(jù)顯示
放大倍率,探測器類型,電壓,真空模式,文本,標尺等
17. 真空系統(tǒng)
全自動型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)
-(旋轉式機械泵)Rotary Pump/100Liters/min
-(渦輪式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec
抽真空時間:3分鐘以內(nèi)
18. 操控系統(tǒng):鼠標和鍵盤
19. 運行系統(tǒng):電鏡專用臺式電腦
-OS : Microsoft Window 7
-CPU : Intel CoreTM i5 or High version
-Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version
20. 軟件:
-圖像文件打開,編輯,存儲功能
-長度,面積,角度等測量功能
-設置數(shù)值初始化,圖像拍攝模式轉換,Archives, Setting(EDS)模式等
21. 體積:
設備主機-390(W)×330(D)×560(H)mm……1set
控制主機-390(W)×315(D)×560(H)mm……1set
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set
22. 重量:98kg
23. 設備環(huán)境:
-溫度:15℃~30℃
-濕度:70% or less
-電源:Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz