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DX測量顯微鏡系列是觀察、測量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。
特點
● 視場寬闊，可得清晰無閃爍正像
● 高精度測量，同時具有大測量范圍和高精度，適用于各種測量
● 可選用高NA物鏡，滿足長工作距離的測量要求
● 照明裝置（反射/透射）可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
● 利用可變孔徑光闌進行無衍射觀察測量
● 各類尺寸的標準工作臺
● 快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數量多的快速移動工作臺
● 高位目鏡觀察
● 便捷CCD圖像成像，可選配多種CCD數碼相機
觀察成像
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偏光觀察 觀察過濾后只有一個方向振動的光。適于觀察具有特殊光學特性的材料，如礦石和液晶。 |
微分干涉對比觀察 在檢測金屬、液晶和半導體表面的微小劃痕和階差時很有效。 |
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暗視場觀察 擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過高對比度能觀察到在亮視場看不到的劃痕和粉末。 |
亮視場觀察 最普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。 |
新功能增強Z軸測量精度
● 輔助對焦（FA）
新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對焦（FA）提供更銳利的圖案，可在Z軸測量期間提供精確對焦。由于不同物鏡焦深差異導致的測量誤差被降到最低。
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| 對焦 | 前端對焦 | 后端對焦 |
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