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介紹

DX測量顯微鏡系列是觀察、測量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。

特點

● 視場寬闊，可得清晰無閃爍正像

● 高精度測量，同時具有大測量范圍和高精度，適用于各種測量

● 可選用高NA物鏡，滿足長工作距離的測量要求

● 照明裝置（反射/透射）可選用高亮度LED的照明或鹵素照明

● 利用可變孔徑光闌進行無衍射觀察測量

● 各類尺寸的標準工作臺

● 快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數(shù)量多的快速移動工作臺

● 高位目鏡觀察

● 便捷CCD圖像成像，可選配多種CCD數(shù)碼相機

觀察成像


偏光觀察觀察過濾后只有一個方向振動的光。適于觀察具有特殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。	微分干涉對比觀察在檢測金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時很有效。

暗視場觀察擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過高對比度能觀察到在亮視場看不到的劃痕和粉末。	亮視場觀察最普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。

新功能增強Z軸測量精度

● 輔助對焦（FA）

新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對焦（FA）提供更銳利的圖案，可在Z軸測量期間提供精確對焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測量誤差被降到最低。


對焦	前端對焦	后端對焦


偏光觀察觀察過濾后只有一個方向振動的光。適于觀察具有特殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。	微分干涉對比觀察在檢測金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時很有效。

暗視場觀察擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過高對比度能觀察到在亮視場看不到的劃痕和粉末。	亮視場觀察最普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。

型號		DX-8Ⅰ型	DX-8Ⅱ型	DX-8 Ⅲ型	DX-8Ⅳ型	DX-12Ⅰ型	DX-12Ⅱ型	DX-12Ⅲ型	DX-12Ⅳ型
鏡筒		1×光學(xué)管徑，雙目目鏡，帶有CCD1/2靶面接口
觀察圖像		正像
觀測方法	輔助對焦系統(tǒng)	-	-	頭部或照明器FA系統(tǒng)	頭部或照明器FA系統(tǒng)	-	-	頭部或照明器FA系統(tǒng)	頭部或照明器FA系統(tǒng)
	微分干涉對比	可選微分觀測對比
目鏡		10X(視場直徑：25mm)，可選十字分劃板，可選：視場直徑：22mm
物鏡		95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x (100x選配)	60mm 5x, 10x,20x, 50x,100x	95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x (100x選配)	60mm 5x, 10x,20x, 50x,100x	95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x (100x選配)	60mm 5x, 10x,20x, 50x,100x	95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x (100x選配)	60mm 5x, 10x,20x, 50x,100x
照明裝置	反射照明	內(nèi)置孔徑光闌，LED光源，無極亮度調(diào)節(jié)，可選鹵素照明
	透射照明	白色LED照明，無極亮度調(diào)節(jié)
工作臺	XY測量范圍	200*150 mm	200*150 mm	200*150 mm	200*150 mm	300*200 mm	300*200 mm	300*200 mm	300*200 mm
	快速釋放裝置	X軸和Y軸（標配）
	調(diào)零開關(guān)	X軸和Y軸（標配）
數(shù)顯計器	顯示軸	2軸或3軸
	分辯率	0.001mm/0.0005mm/0.001mm（可轉(zhuǎn)換）

DX測量顯微鏡系列

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