工具顯微鏡,具有優(yōu)異的光學成像質(zhì)量,高倍率放大觀察,精準測量是理想的檢測半導體器件的工具,支持3種激光波長,可在半導體和液晶基板中使用激光切割和薄膜修復技術(shù),。廣泛用于半導體、電子、治金等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。采用光學同軸垂直照明系統(tǒng),很好的消除了雜散光,從而大大提高成像的對比度(襯度)和清晰度;透射照明采用大功率LED照明系統(tǒng),使被測物品邊緣更加清晰,令測量結(jié)果更為準確。
具體參數(shù):
放大倍數(shù):50x-2000x
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡,三組管鏡之間可以根據(jù)需要進行切換,切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優(yōu)化,1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優(yōu)化,當使用這3個波長的激光器時,可以得到更好的激光透過率。
PSM -1000雙目觀察頭可以在3 -30 轉(zhuǎn)動,調(diào)整觀察眼點的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適
光源系統(tǒng):落射于透射
軟件:具備測量功能,最小識別到um級,圖片可拍照,存儲,測量數(shù)據(jù)通過表格存儲
主體上留有偏光插孔,插上偏光附件(選配件),可進行偏光觀察。
平臺:200x-100x,300x-200,400x-300x