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    真空爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

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    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備


    從結(jié)構(gòu)上分為臥式、立式、箱式,從真空度上分為低真空、高真空,從使用溫度上分為低溫、高溫,從真空室材料上分為石英管、耐熱          
     
    不銹鋼管,從真空獲得上分機械泵、機械泵+擴散泵、機械泵+分子泵。
        設(shè)備用途:廣泛用于電力電子器件、玻封二級管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結(jié)、封裝、焊接、合金、退火等工藝。
        主要技術(shù)指標(biāo):
     ★工位:      單、雙、三工位
     ★工作溫度:   300~1100℃(不銹鋼真空室最高1000℃)
     ★真空度:    優(yōu)于5×10-3 Pa
     ★真空室直徑:Φ150~300 mm
     ★恒溫區(qū)長度:400~1000 mm
     ★控制精度: ±1.0~3.0℃
     ★爐體移動速度:0~400 mm/min
     ★最大充氣壓力:0.5 MPa (不銹鋼真空室)
     ★加熱功率:    10~80 KVA
     ★控制系統(tǒng):   進口儀表+PLC+觸摸屏
     ★安全連鎖保護:超溫、斷偶、缺水、壓力異常保護報警

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