網(wǎng)站首頁

|EN

當前位置: 首頁 » 設備館 » 半導體加工設備 » 爐類設備 »氣氛管式爐
    包郵 關注:251

    氣氛管式爐

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-爐類設備

    庫       存:

    10

    產       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網(wǎng)銀支付
    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障

    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-爐類設備


    1.設計溫度:1200℃
    2.爐膛材質:優(yōu)質氣煉石英管
    3.恒溫區(qū):根據(jù)客戶要求(恒溫區(qū)內溫差±1℃)
    4.控制溫區(qū)點數(shù):石英管外3個測溫點,采用3支鉑銠熱電偶;石英管內1個固定測溫點,采用K型熱電偶;石英管內1個可移動測溫點,K型熱電偶,用于測量溫度分布及校準。
    5.加熱元件:優(yōu)質電阻絲
    6.最大加熱功率根據(jù)工藝要求而定
        7.氣路配件材料卡套密封;兩路氣體采用質量流量計控制,方便設定氣體流量。
    8. 極限真空預抽真空 :一級機械泵2X—4(1.0Pa 10min
    9. 外形參考尺寸可定
    10. 控溫精度:±1℃。
        11. 電源:三相五線制,AC380V 50Hz。
        12. 溫控表:日本島電,25段可編程序。
        13. 控制方式:過零觸發(fā)。
        14. 真彩觸摸屏+PLC程序控制
        15. 氣路系統(tǒng)氣密性:1×10-7 Pa·M3/S
        16. 最大升溫速率:15℃/Min
        17. 質量流量計精度等級:0.2%FS—0.5%FS:
        18. 質量流量計測量范圍:依據(jù)客戶工藝選擇
        19. 每臺流量計前各有一個過濾閥
    20. 每條管路各配有一個單向閥來杜絕氣體的倒流。
        21. 工作腔體壓力通過數(shù)字真空計直觀顯示。
        22. 工藝氣體在進入工作腔體前經(jīng)過混氣包來實現(xiàn)工藝氣體按比例混合
        23. 所有氣路管件包括閥門均采用耐腐蝕不銹鋼(可耐H2S氣體高溫工作環(huán)境)

    咨詢

    購買之前,如有問題,請向我們咨詢

    提問:
     

    應用于半導體行業(yè)的相關同類產品:

    服務熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號