1.設計溫度:1200℃
2.爐膛材質:優(yōu)質氣煉石英管
3.恒溫區(qū):根據(jù)客戶要求(恒溫區(qū)內溫差±1℃)
4.控制溫區(qū)點數(shù):石英管外3個測溫點,采用3支鉑銠熱電偶;石英管內1個固定測溫點,采用K型熱電偶;石英管內1個可移動測溫點,K型熱電偶,用于測量溫度分布及校準。
5.加熱元件:優(yōu)質電阻絲
6.最大加熱功率根據(jù)工藝要求而定
7.氣路配件材料卡套密封;兩路氣體采用質量流量計控制,方便設定氣體流量。
8. 極限真空預抽真空 :一級機械泵2X—4(1.0Pa 10)min
9. 外形參考尺寸可定
10. 控溫精度:±1℃。
11. 電源:三相五線制,AC380V 50Hz。
12. 溫控表:日本島電,25段可編程序。
13. 控制方式:過零觸發(fā)。
14. 真彩觸摸屏+PLC程序控制
15. 氣路系統(tǒng)氣密性:1×10-7 Pa·M3/S
16. 最大升溫速率:15℃/Min
17. 質量流量計精度等級:0.2%FS—0.5%FS:
18. 質量流量計測量范圍:依據(jù)客戶工藝選擇
19. 每臺流量計前各有一個過濾閥
20. 每條管路各配有一個單向閥來杜絕氣體的倒流。
21. 工作腔體壓力通過數(shù)字真空計直觀顯示。
22. 工藝氣體在進入工作腔體前經(jīng)過混氣包來實現(xiàn)工藝氣體按比例混合
23. 所有氣路管件包括閥門均采用耐腐蝕不銹鋼(可耐H2S氣體高溫工作環(huán)境)