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    1100℃管式爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    Facerom

    發(fā)貨期限:

    3天

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:Facerom

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

     管式爐(T max 1100)

    管式爐設(shè)計有開啟式和非開啟式兩種選擇,多樣化的搭配,滿足實驗室多種實驗的要求,高純石英管作為爐膛,潔凈度高。可獲得不同的真空,也可實現(xiàn)多種工藝氣體控制。環(huán)形加熱腔,溫場均勻,外形精巧美觀,周邊拓展性好,適合高校、科研院所實驗之用。

    特點

    ? 工作溫度RT~1000℃。

    ?溫區(qū)個數(shù)1~3個可選。

    ? 程序控溫儀,智能邏輯PID算法,控制精準(zhǔn)。可編輯、儲存并調(diào)用多段程序,無需重新設(shè)置,操作簡單。

    ? 執(zhí)行元件進(jìn)口SSR精度高,無噪音。

    ? 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊,電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱。

    ? 爐殼結(jié)構(gòu),雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)。

    ? 不銹鋼雙層密封法蘭,進(jìn)、出氣閥采用美標(biāo)針閥。

    ?兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu),延長石英管使用壽命。

    ? LED高強(qiáng)度、抗破壞、全不銹鋼按鈕,經(jīng)久耐用。

    ? 超溫保護(hù)功能,當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動斷電。

    ? 安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時自動斷電。

    ? 額外選配:爐內(nèi)測量系統(tǒng):(氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng));

    真空系統(tǒng):(旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組);

    氣氛系統(tǒng):(浮子流量計、質(zhì)量流量計);

    監(jiān)控系統(tǒng):(溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控);

                  注:選件需配置拓展柜

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