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FGL(RTP)系列滑軌式管式爐(T max 1100℃)
滑軌管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求,通過移動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速冷卻的目的。同時(shí)也可以預(yù)先設(shè)定溫度,然后移動(dòng)到樣品處,達(dá)到快速升溫的效果。高純石英管作為爐膛,無污染,抗急冷急熱性能好。設(shè)備外形精巧美觀,周邊拓展性好,適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
特點(diǎn)
? 工作溫度RT~1000℃。
? 爐管管徑25mm~90mm可選。
? 溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)
?程序控溫儀,智能邏輯PID算法,控制精準(zhǔn)。可編輯、儲(chǔ)存并調(diào)用多段程序,無需重新設(shè)置,操作簡單。
? 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊,電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱。
? 爐殼結(jié)構(gòu),雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)。
? 爐口密封:不銹鋼雙層密封法蘭,進(jìn)、出氣美標(biāo)針閥。
?爐管保護(hù):兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu),延長石英管的使用壽命。
?超溫保護(hù)功能,當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動(dòng)斷電。
?安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。
?LED高強(qiáng)度抗破壞全不銹鋼按鈕,經(jīng)久耐用。
? 額外選配:爐內(nèi)測量系統(tǒng)(氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng));
真空系統(tǒng)(旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組);
氣氛系統(tǒng)(浮子流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì));
監(jiān)控系統(tǒng):(溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控);
注:選件需配置拓展柜體;
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