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    FGL(L)系列臥立雙用管式爐

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-爐類設備

    產(chǎn)品品牌

    Facerom

    發(fā)貨期限：

    15天

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：Facerom

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-爐類設備

     FGL(L)系列臥立雙用管式爐(T max 1100℃和T max 1300℃)

    專門為需要吊燒樣品的立式熱處理工藝并能滿足其他水平熱處理工藝功能而設計。采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱，進口智能溫控系統(tǒng)結合高精度測溫元器件對溫度檢測精準。多工位的設計，可以垂直與水平條件工作。

    特點

    ? 工作溫度RT～1300℃可選。

    ?  爐管管徑50mm～80mm可選。

    ?  溫區(qū)個數(shù)1個。

    ? 程序控溫儀，智能邏輯PID算法，可編輯、儲存并調(diào)用多段程序，無需重新設置，操作簡單，控制穩(wěn)定。

    ?  獨特結構適合水平和垂直使用。

    ? 超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電。

    ? 安全保護當爐體漏電時自動斷電。

    ?  雙層爐殼風冷結構，表面溫度低。

    ?  LED高強度抗破壞全不銹鋼按鈕，經(jīng)久耐用

    ? 額外選配：爐內(nèi)測量系統(tǒng)（氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)）；

    真空系統(tǒng)（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）；

    氣氛系統(tǒng)（浮子流量計、質量流量計）；

    監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監(jiān)控）；

    法蘭含有吊環(huán)，可以通過金屬絲將樣品垂直吊裝在路管內(nèi)進行燒結

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