設(shè)備主體由德國進(jìn)口磁白PP板經(jīng)雕刻后熱彎/焊接組合加工而成??扇コぜ砻娴挠臀奂捌渌袡C(jī)物、除膠、去金屬離子等。該設(shè)備適用于2—8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕,關(guān)鍵部件采用進(jìn)口件,包括氣動閥,PFA管道,保證工作介質(zhì)的潔凈度,避免雜質(zhì)析出。工藝過程全自動,由機(jī)械臂負(fù)責(zé)工件在槽體間的轉(zhuǎn)換,除裝片和取片需人工外,其余工藝動作均可自動完成??纱鎯Χ鄺l工藝時序,方便使用。人機(jī)界面為觸摸屏,方便直觀。