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    RCA清洗機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體清洗設(shè)備-標準清洗-RCA清洗機

    產(chǎn)品品牌

    NTNY

    發(fā)貨期限:

    30-90天天

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:NTNY

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體清洗設(shè)備-標準清洗-RCA清洗機

            設(shè)備臺面排列布置如(臺面布置圖)所示,共8個工作位,其中4個工藝槽,4個QDR槽,所有槽工作在潔凈、全封閉的結(jié)構(gòu)中,每個工作位有一個透明PVC自動門。每個工位均有一套單獨的控制按鈕(開始、停止、急停),工作參數(shù)通過觸摸屏設(shè)置,并能存儲最近設(shè)定參數(shù)歷史記錄。將來清洗片盒手工放在機械手上,操作人員按“開始/start按鈕”后,安全門自動關(guān)閉,由機械手按照設(shè)定的工藝程序自動完成片盒在工藝槽及QDR槽間的傳輸,清洗完成后系統(tǒng)發(fā)出報警提出信號,待人工手動取出。設(shè)備臺面的左、右前方分別配置PP材料的水氣槍(1把氣槍,4把水槍),便于工件及設(shè)備的清理。

     

    臺面布局:
    臺面布局

    整機主要由機架、工藝槽體、機械手系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)等組成。

    由于工藝槽內(nèi)藥液腐蝕性強,設(shè)備需要做防腐處理:
    (1)設(shè)備機架采用鋼結(jié)構(gòu)骨架包塑;
    (2)殼體采用瓷白色PP板材焊接成型,制程區(qū)由耐酸堿PP板材組合焊接而成;
    (3)電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部,與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離;
    (4)槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料;
    (5)機械手探人濕區(qū)部分的零部件表面噴氟/套PFA管/teflon定制,以期達到防腐耐用;
    (6)藥液管路中,管子、閥門、接頭均為PFA材質(zhì);
    (7)純水管路采用C-PVC

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