服務(wù)熱線
4001027270
1. 本設(shè)備是光刻清洗臺(tái),適用于4-6英寸半導(dǎo)體硅片清洗工藝。
2.整機(jī)由機(jī)臺(tái)、操作臺(tái)面、清洗槽體、溫度控制系統(tǒng),排風(fēng)、機(jī)臺(tái)照明、電氣控制系統(tǒng)等組成。機(jī)身包板為德國PP板。瓷白色,整潔美觀。
3.共3個(gè)槽體 水浴加熱槽2個(gè),排水槽1個(gè)
4. 本半導(dǎo)體硅片光刻清洗機(jī)設(shè)備的左、右前方各配置PP材料的水槍、氣qiang各2把
5.PLC控制器
6.聲光提示、報(bào)警功能
7. 設(shè)備照明:20W封閉日光燈
8. DIW氮?dú)?N2) 管路 、潔凈空氣管路、自來水管、 藥液排放管、排氣管路、 排水管布局簡潔合理。
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