JM晶淼噴淋浸泡硅片顯影機(jī)
1) 顯影機(jī)主要由機(jī)臺(tái)框架、操作臺(tái)、排風(fēng)系統(tǒng)、管路系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、機(jī)臺(tái)照明、顯影槽體、沖洗槽體、電器控制等系統(tǒng)組成;
2) 槽體,其中包括:顯影液槽,快排沖水槽,(附帶噴淋沖洗,氮?dú)夤呐莨δ埽?/span>;
3)顯影臺(tái)外部由耐腐蝕工程材料焊接而成,美觀耐腐蝕;
4)工作臺(tái)有透明推拉門,便于對(duì)工作情況進(jìn)行隨時(shí)觀察;
5)可移動(dòng)的地腳輪及固定地腳組成,便于移動(dòng)及固定;
6)照明:封閉式照明。位于設(shè)備頂部的封閉單元內(nèi);
7)操作面板位于機(jī)臺(tái)前上部,操作便利;
8)通風(fēng)系統(tǒng)可隨時(shí)將揮發(fā)氣體置換出去。
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機(jī)臺(tái)框架、操作臺(tái)、排風(fēng)系統(tǒng)、管路系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、機(jī)臺(tái)照明、顯影槽體、沖洗槽體、電器控制等系統(tǒng)組成
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機(jī)臺(tái)框架、操作臺(tái)、排風(fēng)系統(tǒng)、管路系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、機(jī)臺(tái)照明、顯影槽體、沖洗槽體、電器控制等系統(tǒng)組成