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4001027270
1.整機由機架,操作臺面,引風裝置,機臺照明,電控單元及清洗槽體等組成.
2本半導體硅片清洗設備的.引風裝置由引風窗和排風口所組成.
3.機臺臺面為多孔結(jié)構(gòu),有利于操作臺面水,液的排出和清潔.
4.照明采用20W封閉照明,位于臺面頂部
5.本半導體硅片清洗機每個槽體均由專用的控制器進行控制,其工藝參數(shù)均可單獨修改.
6.電控單元設置在機臺的左上部,控制鍵盤,啟停按鈕以及急停開關均設置其上.
7.加熱槽體采用氟加熱管.有保溫裝置
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