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4001027270
1.本設(shè)備是光刻清洗臺,適用于4-6英寸半導(dǎo)體硅片清洗工藝。
2.整機由機臺、操作臺面、清洗槽體、溫度控制系統(tǒng),排風、機臺照明、電氣控制系統(tǒng)等組成。機身包板為德國PP板。瓷白色,整潔美觀。
3.共3個槽體,水浴加熱槽2個,排水槽1個。
4. 本半導(dǎo)體硅片光刻清洗機設(shè)備的左、右前方各配置PP材料的水qiang、氣qiang各2把。
5.PLC控制器。
6.聲光提示、報警功能。
7.設(shè)備照明:20W封閉日光燈。
8. DIW氮氣(N2)管路、潔凈空氣管路、自來水管、藥液排放管、排氣管路、排水管布局簡潔合理。
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