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1.整機(jī)由機(jī)架,操作臺(tái)面,引風(fēng)裝置,機(jī)臺(tái)照明,電控單元及清洗槽體等組成.
2本半導(dǎo)體硅片清洗設(shè)備的.引風(fēng)裝置由引風(fēng)窗和排風(fēng)口所組成.
3.機(jī)臺(tái)臺(tái)面為多孔結(jié)構(gòu),有利于操作臺(tái)面水,液的排出和清潔.
4.照明采用20W封閉照明,位于臺(tái)面頂部
5.本半導(dǎo)體硅片清洗機(jī)每個(gè)槽體均由專用的控制器進(jìn)行控制,其工藝參數(shù)均可單獨(dú)修改.
6.電控單元設(shè)置在機(jī)臺(tái)的左上部,控制鍵盤,啟停按鈕以及急停開關(guān)均設(shè)置其上
7.加熱槽體采用氟加熱管.有保溫裝置
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