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    非接觸式測厚儀

    應用于半導體行業(yè):

    半導體測試設備-測厚設備-非接觸式測厚儀

    庫       存:

    50

    產(chǎn)       地:

    英國

    數(shù)       量:

    減少 增加

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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體測試設備-測厚設備-非接觸式測厚儀


    非接觸式測厚儀


    具體設備詳情請咨詢專業(yè)銷售:  400-6988-696 

    非接觸式測厚儀介紹:

    是一款高性能高精密的測量儀器,可以不接觸樣品表面進行厚度測量。這種方式可以避免接觸測量引起的表面損傷,特別適用于軟脆材料及對樣品表面質(zhì)量高要求的測量.該儀器能非常理想的用于半導體、光學及電光材料厚度的測量應用。

    功能:

    在線實時測量監(jiān)控、數(shù)字顯示。

    設備原理:

    采用無污染氣脈沖測量法,通過氣脈沖,在晶圓表面形成均勻氣膜,對被測物進行非接觸、無損傷厚度測量,采樣速度快精度高,性能穩(wěn)定,操作簡單。

    技術參數(shù):

    測量臂帶細調(diào)功能

    測量范圍:0-180毫米

    厚度范圍0~500mm(或可按要求設定范圍)

    樣品尺寸:8英寸及以下尺寸

    讀數(shù)精度:0.1um

    測量精度:1um

    適用范圍:

    適用于半導體材料的測量,如:磷化銦、碲鋅鎘、砷化鎵、藍寶石、硅片等,其他材料:陶瓷片、薄膜、高度拋光表面樣件等。

     

     


     


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