網(wǎng)站首頁

|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備 » 測(cè)厚設(shè)備 » 非接觸式測(cè)厚儀 »SR100 光譜反射薄膜測(cè)厚儀 上海佰芯
    包郵 關(guān)注:1741

    SR100 光譜反射薄膜測(cè)厚儀 上海佰芯

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    SR100 光譜反射薄膜測(cè)厚儀

    ◆ 波長(zhǎng)范圍:250nm到1100 nm
    ◆ 光斑尺寸:500μm至5mm
    ◆ 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
    ◆ 基板尺寸:最多可至50毫米厚
    ◆ 測(cè)量厚度范圍:2nm到50μm
    ◆ 測(cè)量時(shí)間:最快2毫秒
    ◆ 精確度:優(yōu)于0.5%(通過使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)
    ◆ 重復(fù)性誤差:小于1

    SR100特點(diǎn)

    ◆ 易于安裝
    ◆ 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件,很容易操作
    ◆ 先進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì),以確保能發(fā)揮出最佳的系統(tǒng)性能
    ◆ 基于陣列設(shè)計(jì)的探測(cè)器系統(tǒng),以確??焖贉y(cè)量
    ◆ 獨(dú)特的光源設(shè)計(jì),有著較好的光源強(qiáng)度穩(wěn)定性
    ◆ 有四種方法來調(diào)整光的強(qiáng)度:
    § 通過電源的調(diào)節(jié)旋鈕來調(diào)節(jié)電源輸出的大小
    § 在光輸出端口濾光槽內(nèi)調(diào)整濾光片來調(diào)整
    § 調(diào)整光束大小
    § 通過TFProbe軟件,在探測(cè)器里調(diào)整積分時(shí)間
    ◆ 最多可測(cè)量5層的薄膜厚度和折射率
    ◆ 在毫秒的時(shí)間內(nèi),可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數(shù)
    ◆ 能夠用于實(shí)時(shí)或在線的厚度、折射率測(cè)量
    ◆ 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫
    ◆ 對(duì)于每個(gè)被測(cè)薄膜樣品,用戶可以利用先進(jìn)的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進(jìn)行色散或者復(fù)合模型(EMA)測(cè)量分析; 
    ◆ 可升級(jí)至MSP(顯微分光光度計(jì))系統(tǒng),SRM成像系統(tǒng),多通道分析系統(tǒng),大點(diǎn)測(cè)量。
    ◆ 通過模式和特性結(jié)構(gòu)直接測(cè)量。
    ◆ 能夠應(yīng)用于不同類型、不同厚度的基片測(cè)量。
    ◆ 提供的各種配件可用于特殊結(jié)構(gòu)的測(cè)量,例如通過曲線表面進(jìn)行縱長(zhǎng)測(cè)量。
    ◆ 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。

    SR100系統(tǒng)配置

    ◆ 型號(hào):SR100R
    ◆ 探測(cè)器: 2048像素的CCD線陣列
    ◆ 光源:高穩(wěn)定性、長(zhǎng)壽命的鹵素?zé)?span>
    ◆ 光傳送方式:光纖
    ◆ 臺(tái)架平臺(tái):特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量,200mmx200mm的大小
    ◆ 軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
    ◆ 通訊接口:USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連
    ◆ 測(cè)量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
    ◆ 電腦硬件要求:P3以上、最低50 MB的空間
    ◆ 電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
    ◆ 保修:一年的整機(jī)及零備件保修

    SR100應(yīng)用

    ◆ 半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride..)
    ◆ 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..)
    ◆ 醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等
    ◆ 油墨,礦物學(xué),顏料,調(diào)色劑等
    ◆ 醫(yī)藥,中間設(shè)備
    ◆ 光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
    ◆ 半導(dǎo)體化合物
    ◆ 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
    ◆ 非晶體,納米材料和結(jié)晶硅


    咨詢

    購買之前,如有問題,請(qǐng)向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號(hào)