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4001027270
1.本石英鐘罩清洗設(shè)備是手動的半導(dǎo)體工藝清洗濕臺,適用于LPE外延爐PE2061(S)、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗,為鐘罩清洗部分和浸泡部分共同組成;
2.整機主要由機架、操作臺面、排風(fēng)、清洗槽體、電器控制系統(tǒng)組成, SUS不銹鋼制作,外包PP板;
3.清洗時,石英鐘罩豎放其中,可作360度旋轉(zhuǎn),速度為5RPM;旋轉(zhuǎn)臺直徑為500mm;
4.并配有氮氣吹干槽;
5.還根據(jù)客戶要求設(shè)計制作此石英鐘罩清洗設(shè)備。
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