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該清洗設(shè)備是濕法處理設(shè)備,能夠處理ACT 915、IPA與DIW清洗的過程.設(shè)備外殼采用304不銹鋼拉絲板,槽體采用316L電解拋光不銹鋼??炫挪壑С值撞孔⑺? 頂部噴淋, 快排。
系統(tǒng)的硬件由PLC來控制,具體是從狀態(tài)傳感器得到一個(gè)輸入,由此來控制和監(jiān)視系統(tǒng)的一些功能。操作者通過彩色的觸摸屏來操作。軟件在輸入密碼的狀態(tài)下是完全受控制的。包括機(jī)臺的組成和每個(gè)槽的監(jiān)控,以及菜單的多樣編輯都受控。
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