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應(yīng)用領(lǐng)域：

本設(shè)備主要用于高溫?cái)U(kuò)散、氧化、退火等工藝

主要特點(diǎn)：

1）控溫精度高，可重復(fù)性好；

2）設(shè)備使用壽命長，維護(hù)方便，維護(hù)成本低

主要型號及技術(shù)指標(biāo)：

1350型

1）形式：臥式、立式

2）使用溫度：≤1370℃

3）控溫精度：優(yōu)于±0.2℃

4）恒溫區(qū)長度及精度：800mm，±0.2

5）適用工藝尺寸：2-8寸

6）控制方式：微控

1650型

1）形式：立式

2）使用溫度：1370℃-1650℃；

3）控溫精度：優(yōu)于±0.2℃；

4）恒溫區(qū)長度及精度100mm，±0.5℃；

5）適用工藝尺寸2-6英寸；

6）控制方式：全自動(dòng)微機(jī)控制；

7）工藝腔體環(huán)境為水冷真空或是保護(hù)氣體；

8）真空度1×10-5pa；

9）工藝氣體：根據(jù)客戶需求定制

10）氣路系統(tǒng)氣密性 1×10-7pa.m3/s

2000型

1）形式：立式

2）使用溫度：1650-2000℃；

3）獨(dú)特的閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)科學(xué)可靠，控制精度高，可重復(fù)性好；

4）恒溫區(qū)長度及精度：100mm，±1℃

5）適用工藝尺寸：2-6英寸；

6）工藝管材料性能穩(wěn)定，潔凈效果好；

7）控制方式：全自動(dòng)微機(jī)控制；

8）工藝氣體：根據(jù)客戶需求定制

9）氣路系統(tǒng)氣密性 1×10-7pa.m3/s

微控?cái)U(kuò)散/氧化/退火系統(tǒng)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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