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    hmds烘箱，hmds增粘烤箱

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-鍍膜設備-其他

    產(chǎn)品品牌

    雋思

    規(guī)格型號：

    90

    發(fā)貨期限：

    25天

    庫       存：

    20

    產(chǎn)       地：

    中國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

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    品牌：雋思

    型號：90

    所屬系列：半導體加工設備-鍍膜設備-其他

    HMDS真空烘箱的原理：      

       HMDS預處理系統(tǒng)通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

    HMDS預處理的必要性：

      在半導體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結合，起著偶聯(lián)劑的作用。

    HMDS預處理系統(tǒng)特點：

    1、預處理性能更好

    2、處理更加均勻

    3、效率高

    4、更加節(jié)省藥液

    5、更加環(huán)保和安全   

    6、低液報警裝置

    7、可自動吸取HMDS功能，

    8、可自動添加HMDS功能，

    9、HMDS藥液泄漏報警功能，


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