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G200M,G150M和G150S平面激光干涉儀為正立式結(jié)構(gòu),通光口徑分別為200mm和150mm。
G200M彌補了國內(nèi)使用有效口徑150mm的干涉儀測試大尺寸光學(xué)系統(tǒng)和光學(xué)元件,不能全口徑測試的不足,改善提高了大口徑光學(xué)系統(tǒng)和光學(xué)元件測試精度。
G150M型平面干涉儀專為計量級測試的需求設(shè)計,適用于計量機構(gòu)檢定和校準光學(xué)平晶。其集高性能、長壽命氦氖激光器,1-6.7倍圖像放大功能,高精度的成像系統(tǒng)和圖像采集系統(tǒng),精密平面標(biāo)準鏡等一系列高精技術(shù),通過優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)和機械系統(tǒng)結(jié)構(gòu),實現(xiàn)高精密平面光學(xué)元件的測量。選配靜態(tài)干涉條紋分析軟件,實現(xiàn)數(shù)字化測量。
G150S為G150M的簡化版本,適合光學(xué)車間的現(xiàn)場檢驗。
主要用途:平面類光學(xué)元件(包括玻璃、金屬、陶瓷等)表面面形、光學(xué)平行度和材料均勻性的測試;準直系統(tǒng)波前質(zhì)量的測試。
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