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    包郵 關(guān)注:746

    NanoMap-1000WLI白光干涉儀

    產(chǎn)品品牌

    蘆華科技

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    美國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    10000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:蘆華科技

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-光學(xué)類(lèi)測(cè)試-干涉儀

    NanoMap-1000WLI白光干涉儀
    白光干涉帶來(lái)了高的分辨率、400萬(wàn)像素的圖像、大范圍掃描??啥ㄖ频牟ㄩL(zhǎng)范圍,使用戶(hù)可以輕松靈活地測(cè)量任何表面形貌。優(yōu)點(diǎn)在于使用了PSI(phase shift interferometry)技術(shù),不接觸樣品表面,不損傷樣品表面,對(duì)表面硬度沒(méi)有要求,甚至可以測(cè)試粘彈性樣品。
    光源 長(zhǎng)壽命LED附帶兩級(jí)帶通濾波光柵技術(shù)
    可選物鏡倍數(shù) 10x(標(biāo)配),2.5x,5x, 20x,50x,100x
    垂直分辨率 0.1 Å
    數(shù)字放大(Digital Zoom) 1x, 2x
    RMS可重復(fù)性 1 Å
    垂直掃描速度 3.75 to 26um/sec (software controllable)
    最大垂直測(cè)量范圍 20 mm
    臺(tái)階高度重復(fù)性 0.1% or 1 Å (1 sigma)
    臺(tái)階重復(fù)率 1 Å
    CCD分辨率 1024 x 1024(標(biāo)配),1536 x 1536 ,1920x 1920
    物鏡 2.5x/5x/10x/20x/50x/100x
    Z向掃描范圍 20mm
    樣品反光率 1% to 100%
    樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn) 360度
    樣品臺(tái)傾斜 最大4度
    標(biāo)準(zhǔn)樣品 8μm臺(tái)階標(biāo)樣(選項(xiàng))
    樣品臺(tái) 150*150mm(可選300*300mm)
    最大樣品厚度 50mm(可選100mm)
    樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn) 360度
    樣品臺(tái)傾斜 4度

     

     

    主要應(yīng)用
    • 三維表面輪廓測(cè)量和粗糙度測(cè)量,適用于精密拋光的光學(xué)表面,也適用于質(zhì)地粗糙的機(jī)加工零件。
    • 薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量。
    • 劃痕形貌, 磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量。
    • 空間分析和表面紋理表征。
    • 平面度和曲率測(cè)量。
    • 二維薄膜應(yīng)力測(cè)量。
    • 微電子表面分析和MEMS 表征。
    • 表面質(zhì)量和缺陷檢測(cè)。

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    peert  2017-08-09

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    4001027270

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