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    包郵 關(guān)注:466

    HLI-A型白光干涉垂直掃描表面形貌綜合測(cè)量?jī)x 紅星楊科技

    產(chǎn)品品牌

    紅星楊科技

    規(guī)格型號(hào):

    HLI-A型

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-湖北省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:紅星楊科技

    型號(hào):HLI-A型

    所屬系列:半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-表面形貌測(cè)試-表面輪廓儀

    HLI-A型白光干涉垂直掃描表面形貌綜合測(cè)量?jī)x是基于光學(xué)干涉原理,實(shí)現(xiàn)超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面結(jié)構(gòu)的非接觸精密測(cè)量,幫助表面形貌功能質(zhì)量評(píng)價(jià)和工藝分析
    1.產(chǎn)品型號(hào):WLI-A 

    2.產(chǎn)地:中國(guó)武漢

    3.產(chǎn)品功能:基于光學(xué)干涉原理,實(shí)現(xiàn)超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面結(jié)構(gòu)的非接觸精密測(cè)量,幫助表面形貌功能質(zhì)量評(píng)價(jià)和工藝分析。

    4.特性參數(shù)

    型號(hào)

    指標(biāo)

    HLI-A

    HLI-C

    放大倍率

    10╳, 20╳,50

    垂直分辨率 (nm)

    0.1

    垂直范圍(mm)

    0.08

    4mm

    水平分辨率(um)

    3.0 (10), 1.0 (20),0.5 (50)

    水平范圍(mm2)

    2×1.5/10╳,1×0.8 /20╳,0.4×0.3 /50

    20×20

    輸出標(biāo)準(zhǔn)化參數(shù)

    二維粗糙度參數(shù)(ISO25178)Ra,RzRz,Rmax,RpRq,RpmRvm,R3z ,Wt,PtTpa Ra

    三維粗糙度參數(shù)(ISO25178)Sa, Sq, Sp, Sv, Sz, Ssk, Sku, Sal, Str, Sds, Sdq, Sdr, Ssc

    5.應(yīng)用實(shí)例

    (1)H=1.2μm標(biāo)準(zhǔn)單刻線樣板測(cè)量

    201508141439511980720 (1).jpg

    (2)Ra=1.732μm標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板測(cè)量

    201508141439512051570.jpg

    (3)MEMS結(jié)構(gòu)表面MEME-1測(cè)量結(jié)果

    201508141439512127307.jpg

    (4)MEMS結(jié)構(gòu)表面MEME-2測(cè)量結(jié)果

    201508141439512178749.jpg

    (5)MEMS結(jié)構(gòu)表面MEME-3測(cè)量結(jié)果

    201508141439512214157.jpg

     

    (6)MEMS結(jié)構(gòu)表面MEME-4測(cè)量結(jié)果

    201508141439512244827.jpg

    6.經(jīng)典應(yīng)用領(lǐng)域:

    (1)質(zhì)量管理

    (2)工藝控制

    (3)產(chǎn)品研發(fā)

    武漢紅星楊科技有限公司(簡(jiǎn)稱“紅星楊科技”)是致力于光機(jī)產(chǎn)品制造商和系統(tǒng)解決方案提供商的創(chuàng)新型企業(yè)。

    紅星楊科技通過(guò)資源整合吸納了包含高校和研究所在內(nèi)的高端科研技術(shù)資源,為公司遠(yuǎn)景發(fā)展創(chuàng)造了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ);主營(yíng)業(yè)務(wù)包含:精密位移平臺(tái)、精密運(yùn)動(dòng)控制、光學(xué)平臺(tái)、光學(xué)調(diào)整架、光機(jī)系統(tǒng)儀器、作物表型儀器、進(jìn)口光機(jī)產(chǎn)品。紅星楊科技將立足于光電產(chǎn)業(yè),堅(jiān)持高科技、高價(jià)值、高效益三大目標(biāo),打造實(shí)力品牌優(yōu)勢(shì)、系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)和價(jià)值優(yōu)勢(shì)的知名光電企業(yè)。

    今天;明天,無(wú)論在工業(yè)自動(dòng)化、計(jì)量、顯微,生命科技,還是激光技術(shù),精密加工技術(shù);無(wú)論是半導(dǎo)體科技,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù),還是光電子/光纖,天文等領(lǐng)域,紅星楊科技的產(chǎn)品和技術(shù)將得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用,也贏得了越來(lái)越廣泛的贊譽(yù)。紅星楊科技“聚焦科技之美,創(chuàng)造光機(jī)精品”!

     

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