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    芯茂科技-晶圓邊緣/V-notch形狀檢測(cè) 輪廓儀EGPRO-512

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
     設(shè)備簡(jiǎn)介

    以非接觸的自動(dòng)測(cè)量方式，對(duì)半導(dǎo)體襯底晶片倒角后的edge 和 notch 進(jìn)行形貌與尺寸進(jìn)行測(cè)定。

     

    特征

    ·設(shè)備可以對(duì) 2 英寸 wafer 到 12 英寸 wafer 進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量。

    ·測(cè)量是在晶圓操作臺(tái)上以非接觸的方式進(jìn)行。

    ·可測(cè)定部分:邊緣，槽口（notch）和 OF 邊的長(zhǎng)度（OPTION）

    ·搭載電腦控制系統(tǒng)，測(cè)量結(jié)果可保存在各種外部記憶媒體。

    ·具備 LAN 連接功能，測(cè)量數(shù)據(jù)可以隨時(shí)在 network 范圍內(nèi)查閱

     

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